[发明专利]压电致动模块及其所适用的压电喷墨头的制造方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种压电致动模块的制造方法，尤指一种压电致动模块及其所适用的压电喷墨头的制造方法。

背景技术

随着喷墨技术的进步，喷墨技术不再只是应用在传统打印市场上，近年更应用于平面显示器以及半导体产业的制程技术中，然而，为了降低成本以及节省制程时间，纷纷寻求新的喷墨技术，这之中最被广为应用的，就是压电式喷墨技术。

一般的压电喷墨头结构主要由喷嘴片、盖板以及压电致动模块所组成。请参阅图1A，其是为已知压电喷墨头的压电致动模块的结构示意图。如图所示，已知的压电致动模块1主要由上压电芯片10、下压电芯片11以及电极12所形成，其中上压电芯片10及下压电芯片11分别具有一电极12，且在上压电芯片10及下压电芯片11的两电极12之间更具有一导电层13，该导电层13是可由一导电胶所形成，但不以此为限，用以接合两电极12。以及，已知的压电致动模块1更具有多个流道14，该多个流道14是自上压电芯片10向下延伸至下压电芯片11，且该多个流道的开口140均设置于上压电芯片10上。

于图1A所示的压电致动模块1中，其制造方法是为先分别制成上压电芯片10及下压电芯片11，并在上压电芯片10及下压电芯片11的一表面形成电极12，其后再通过导电层13将上压电芯片10及下压电芯片11接合于一起。最后，通过一切割工具，自上压电芯片10依一定间隔向下进行切割，以形成多个固定大小的流道14，且如图所示，该多个流道14的开口140均设置于上压电芯片10的同一表面上。

请参阅图1B，其是为已知压电致动模块的作动示意图。如图所示，当压电致动模块1进行作动时，即通过电极12以产生一电场，进而使上压电芯片10及下压电芯片11依据不同的正负电压而产生形变，如图所示，当流道142因两侧上压电芯片10及下压电芯片11的正负电压不同而产生扩张情形时，则设置于流道142两侧的流道141及流道143因而会受到挤压，进而则可使流道141及流道143中的墨液(未图示)自一喷墨孔(未图示)流出，反之，因流道142是处于扩张的状态，因而可使墨液(未图示)流入流道142中，藉此正负电压的交替转换，以控制墨液自不同的流道14及喷墨孔(未图示)流出。

然而，在已知的压电致动模块1中，如图1A及图1B所示，由于多个流道14均自上压电芯片10向下延伸至下压电芯片11所形成，且流道14的开口140均设置于上压电芯片10上，因此，设置每一流道14之间的下压电芯片11的基部110结构较为脆弱，尤其当压电致动模块1进行作动时，流道14会产生扩张或被挤压的情形，往往更会影响到流道14旁边的基部110，使基部110在多次的形变挤压之后易产生破裂的情形，进而影响到压电致动模块1的效能，并导致压电喷墨头可能出现损坏的情形。

有鉴于此，如何发展一种结构强度较高、不易产生损坏的压电致动模块及其所适用的压电喷墨头的制造方法，以解决已知技术的缺失，实为相关技术领域者目前所迫切需要解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种压电致动模块及其所适用的压电喷墨头的制造方法，其是借助于压电致动模块内具有上下开口交错设置的流道，以解决已知压电致动模块的结构脆弱，易导致压电喷墨头可能出现损坏情形的缺失。

为达上述目的，本发明的一较广义实施态样为提供一种压电致动模块的制造方法，其是包括下列步骤：(a)形成一上压电芯片及一下压电芯片，该上压电芯片及该下压电芯片的第一表面是分别具有一第一电极及一第二电极；(b)通过一导电层将该第一电极及该第二电极相互接合，以使该上压电芯片与该下压电芯片对应组接；(c)对该上压电芯片的一第二表面进行等间距切割；(d)对该下压电芯片的一第二表面进行与该上压电芯片的一第二表面等间距切割错位的切割，以形成多个开口上下交错的流道，以形成一压电致动模块。