[发明专利]高效气体过滤系统

权利要求书

1.一种高效气体过滤系统，用于过滤进入机台的气体，包括位于机台上方的由若干风扇组成的第一风扇组，通过调节第一风扇组的风力使得机台内的气压处于所需的设定范围；位于机台内顶部的第一过滤网组，所述第一过滤网组用于过滤从机台顶部进入机台内部的气体，其特征在于，还包括位于机台内底部的第二过滤网组。

2.如权利要求1所述的高效气体过滤系统，其特征在于，所述机台的下方还设有由相应数量风扇组成的第二风扇组，第二风扇组的各个风扇与第一风扇组的各个风扇呈一一对应关系，通过调节第一风扇组和第二风扇组中各风扇的风力使得机台内气压处于所需的设定范围。

3.如权利要求2所述的高效气体过滤系统，其特征在于，所述机台纵向分成若干个反应腔室，所述第一风扇组和第二风扇组中的各个风扇分别对应各自的反应腔室，分别调整各自反应腔室内的气压。

4.如权利要求3所述的高效气体过滤系统，其特征在于，所述每个反应腔室内设有气压计。

5.如权利要求1所述的高效气体过滤系统，其特征在于，所述设定范围比机台外部气压高0.02-0.05帕斯卡。

6.如权利要求1所述的高效气体过滤系统，其特征在于，所述第二过滤网组由至少一个过滤网组成。

7.如权利要求1所述的高效气体过滤系统，其特征在于，所述第一过滤网组包括若干至上而下过滤能力逐渐增强的相平行的过滤网。

8.如权利要求1所述的高效气体过滤系统，其特征在于，所述第一过滤网组包括若干至上而下过滤能力逐渐增强的以微小角度倾斜并间隔设置的过滤网。

9.如权利要求1所述的高效气体过滤系统，其特征在于，所述机台内设有若干反应槽、相应数量的排放管、一根酸性气体总排放管和一根碱性气体总排放管，各个反应槽通过各自的排放管根据自身所排放气体的酸碱性质连接到对应的酸性气体总排放管或碱性气体总排放管。

10.如权利要求1所述的高效气体过滤系统，其特征在于，所述酸性气体总排放管或碱性气体总排放管分别连接到厂务的废气处理及排放系统。