[发明专利]高效气体过滤系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体领域，尤其涉及高效气体过滤系统。

背景技术

请参见图1，图1所示为现有高效粒子空气过滤(HEPA，High EfficientParticulate Air)系统2的结构示意图，其安置于集成电路制造厂房内，厂房空气从上至下流动，方向如箭头A所示。所述HEPA系统2，包括位于机台1上方的第一风扇组21和位于机台1内顶部的第一过滤网组22，通过调节第一风扇组21的风力使得机台1内的气压处于所需的设定范围，所述第一过滤网组22用于过滤从机台1顶部进入机台1内部的气体。HEPA系统2运行时，第一风扇组21旋转，其内部空气流动方向也为从上至下，如箭头B所示。在第一风扇组21下方，设置有由三层过滤能力依次增强的过滤网构成的第一过滤网组22，用于过滤空气中的杂质粒子，空气流出过第一过滤网组22后，在机台1内向下流动并从机台1底部流出。

HEPA系统2在运行时具备较佳的过滤能力，但当机台1由于断电或者维护等导致HEPA系统2停止运行时，杂质粒子很可能从底部混入机台1内，进入机台1内的杂质粒子会影响机台1内部的制程，造成产品的不良品率显著上升。

另外，现有的机台1内部有若干反应槽，各个反应槽分别通过各自的排放管3连接到厂务的废气处理及排放系统。因此，机台和厂务的废气处理及排放系统之间的接头比较多，不但要耗费大量的接头，而且过多的接头也带来了泄露隐患，容易引发安全事故。

发明内容

本发明提供了一种高效气体过滤系统，以提高过滤能力，防止杂质粒子在高效气体过滤系统由于断电或维护等停止运行时混入机台内部。

一种高效气体过滤系统，用于过滤进入机台的气体，包括位于机台上方的由若干风扇组成的第一风扇组，通过调节第一风扇组的风力使得机台内的气压处于所需的设定范围；位于机台内顶部的第一过滤网组，所述第一过滤网组用于过滤从机台顶部进入机台内部的气体，还包括位于机台内底部的第二过滤网组。

可选的，所述机台的下方还设有由相应数量风扇组成的第二风扇组，第二风扇组的各个风扇与第一风扇组的各个风扇呈一一对应关系，通过调节第一风扇组和第二风扇组中各风扇的风力使得机台内气压处于所需的设定范围。

可选的，所述机台纵向分成若干个反应腔室，所述第一风扇组和第二风扇组中的各个风扇分别对应各自的反应腔室，分别调整各自反应腔室内的气压。

可选的，所述每个反应腔室内设有气压计。

可选的，所述设定范围比机台外部气压高0.02-0.05帕斯卡。

可选的，所述第二过滤网组由至少一个过滤网组成。

可选的，所述第一过滤网组包括若干至上而下过滤能力逐渐增强的相平行的过滤网。

可选的，所述第一过滤网组包括若干至上而下过滤能力逐渐增强的以微小角度倾斜并间隔设置的过滤网。

可选的，所述机台内设有若干反应槽、相应数量的排放管、一根酸性气体总排放管和一根碱性气体总排放管，各个反应槽通过各自的排放管根据自身所排放气体的酸碱性质连接到对应的酸性气体总排放管或碱性气体总排放管。

可选的，所述酸性气体总排放管或碱性气体总排放管分别连接到厂务的废气处理及排放系统

本发明提供的高效气体过滤系统通过在机台内底部增设第二过滤网组，可以防止在高效气体过滤系统(HEPA系统)由于断电或维护等原因停止运行时杂质粒子混入机台内部，确保机台内部的生产不受杂质粒子影响。通过在机台的下方设置与第一风扇组相对应的第二风扇组，可以辅助第一风扇组调节机台内部的气压，确保机台内部气压始终处于所需的设定范围内。另外，通过将机台内部的诸多排放管集成到两根管子即酸性气体总排放管和碱性气体总排放管，并据此连接到厂务的废气处理及排放系统，因而节省了机台和厂务的废气处理及排放系统之间的接头的数量，减少了接头泄露的几率，提高了安全性。

附图说明

图1为现有HEPA系统结构示意图；

图2为本发明实施例中HEPA系统结构示意图。

图中，1-机台、11-反应槽、12-气压计、13-排放管、14-酸性气体总排放管、15-碱性气体总排放管、16-气体阀、2-HEPA系统、21-第一风扇组、22-第一过滤网组、221-最上层过滤网、222-中层过滤网、223-最下层过滤网、23-第二过滤网组、24-第二风扇组、3-晶圆载送机构。

具体实施方式

以下将对本发明的高效气体过滤系统作进一步的详细描述。