[发明专利]阵列测试装置

权利要求书

1.一种阵列测试装置，包括：

多个支撑板，基板放置在所述多个支撑板上，所述支撑板以预定距离彼此间隔开；以及

板移动单元，所述板移动单元移动至少一个支撑板，以调整所述支撑板之间的距离。

2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述板移动单元包括：

导引件，所述导引件可移动地支撑所述至少一个支撑板；以及

驱动单元，所述驱动单元联接到所述至少一个支撑板，以移动所述至少一个支撑板。

3.根据权利要求1或2所述的阵列测试装置，还包括：

探针头，所述探针头具有按压设置在所述基板上的电极的探针引脚，

其中，至少一个支撑板移动至对准所述基板的电极的位置，从而防止所述基板因探针引脚按压所述基板的电极的力而下陷。

4.根据权利要求1或2所述的阵列测试装置，其中，至少一个支撑板移动，使得所述支撑板之间的所述距离调整到允许向所述支撑板供应所述基板的基板供应装置的叉件插入所述支撑板之间的空间的程度。

5.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述支撑板中形成有吹气孔，空气从所述吹气孔中吹出。

6.根据权利要求1所述的阵列测试装置，还包括：

基板支撑单元，当至少一个支撑板移动时所述基板支撑单元用于保持所述基板的边缘。

7.根据权利要求6所述的阵列测试装置，其中，所述基板支撑单元包括：

支撑块；

保持件，所述保持件设置在所述支撑块上，能朝着所述基板的边缘移动，所述保持件具有插槽，所述基板的所述边缘插入所述插槽；以及

保持件移动装置，所述保持件移动装置设置在所述保持件和所述支撑块之间以移动所述保持件。