[发明专利]阵列测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种阵列测试装置。

背景技术

一般来说，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩显像管(Braun Tube)的传统电视机或显示器薄而且轻的图像显示器。液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的实例。

LCD是以向排列为矩阵的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号来控制液晶单元的透光性的方式来显示预期图像的图像显示器。LCD薄且轻，而且还具有包括功耗低以及操作电压低在内的许多其它优点，因此被广泛地使用。下面将详细描述用在这种LCD中的液晶面板的典型制造方法。

首先，在上基板上形成彩色滤光片和共用电极。之后，在与上基板相对的下基板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。

随后，将配向膜分别涂布至上基板和下基板。之后摩擦配向膜以便为将要在配向膜之间形成的液晶层中的液晶分子提供预倾角和配向方向。

此后，通过将密封胶涂布至基板中的至少一个基板来形成密封胶图案，以保持基板间的间隙、防止液晶漏出、以及密封基板间的间隙。以预定图案将密封胶涂布至基板中至少一个基板以形成密封胶图案。随后，在基板之间形成液晶层，从而完成液晶面板。

在上述过程中，测试具有TFT和像素电极的下基板(下文中称为“基板”)是否有缺陷的操作，是通过例如检测栅极线或数据线是否断线或者检测像素单元是否显色不佳来实现的。

典型地，阵列测试装置包括光源、调制器和用于测试基板的照相设备。在预定量的压力施加到调制器和基板的状态下，调制器接近基板。这样，如果基板没有缺陷，则调制器和基板之间形成电场。然而，如果基板有缺陷，则调制器和基板之间不形成电场，或是电场的强度小。阵列测试装置测量调制器与基板之间的电场强度，并且利用所测量的电场强度来确定基板是否有缺陷。

如图1所示，常规的阵列测试装置包括在其上放置基板S的托台1。多个升降销(lift pin)2设置为穿过托台1，以便能沿竖直方向移动。升降销驱动单元3与升降销2整体地连接，使升降销2通过升降销驱动单元3的操作而沿竖直方向移动。

以基板S放置在基板供应设备的叉件4上的状态将基板S提供至托台1。如图1所示，为了将基板S置于托台1上，升降销2保持从托台1的上表面向上突伸的状态。由此状态，如图2所示，将基板供应设备的叉件4安置于托台1上方。之后，叉件4向下移动并插入升降销2之间。当基板供应设备的叉件4进一步向下移动时，基板S的下表面接触并支撑在升降销2的上端部，并且基板供应设备的叉件4从基板S的下表面移开。随后，基板供应设备的叉件4在水平方向移动并从托台1移除。如图3所示，之后空气从托台1的上表面向上吹出，并且升降销2通过升降销驱动单元3的操作而向下移动。由此，基板S与升降销2隔开，且同时借助从托台1的上表面吹出的空气而悬浮于托台1的上表面上方。放置在托台1上的基板S保持悬浮的状态。

照此，常规的阵列测试装置包括作为将基板S放置在托台1上的装置的升降销2以及与升降销2整体地联接的升降销驱动单元3。为了将基板S放置在托台1上，需要从托台1向上移动升降销2然后再次向下移动升降销2的操作。因此，测试基板S的缺陷的过程是复杂的。所需的时间也增加了。

此外，为了制造常规的阵列测试装置，升降销2必须安装在托台1之中，并且升降销驱动单元3必须与升降销2整体地联接。于是，制造阵列测试装置的过程非常复杂。生产成本也增加了。具体而言，在测试大尺寸的基板S的情况下，升降销2的数量必须增加到对应于待放置在托台1上的基板S的大块面积。因此，制造所述阵列测试装置的过程更加复杂了，而且生产成本也会进一步增加。

发明内容

因此，针对以上在现有技术中产生的问题提出本发明，而且本发明的目的是提供一种阵列测试装置，其中，在其上放置基板的加载单元和/或卸载单元包括多个可在水平方向移动的支撑板，以便能够有效且可靠地执行将基板放置在支撑板上的操作以及向基板施加电信号的操作。

为了实现以上目的，本发明提供一种阵列测试装置，包括：多个支撑板，基板放置在支撑板上，支撑板以预定距离彼此间隔开；以及板移动单元，其移动至少一个支撑板，以调整支撑板之间的距离。

板移动单元可包括：导引件，其可移动地支撑所述至少一个支撑板；以及驱动单元，其联接到所述至少一个支撑板，以便移动所述至少一个支撑板。