[发明专利]显影机及其加显影液的系统和方法有效
申请号: | 201010293171.X | 申请日: | 2010-09-27 |
公开(公告)号: | CN102419518A | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | 赵迎春;吴铸伟;陈振刚 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30;G05D9/12 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100871 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显影 及其 显影液 系统 方法 | ||
1.一种显影机加显影液的系统,包括:
带有控制阀的输液管道,连接在显影液供液系统和显影机的显影液罐间,用于从所述显影液供液系统向所述显影液罐输送显影液;
液位传感器,用于测量所述显影液罐中显影液的液位;
其特征在于,所述显影机加显影液的系统还包括:
驱动机构,用于驱动所述控制阀的开闭;
控制器,用于接收所述液位传感器的测量结果,并根据所述测量结果向所述驱动机构发出控制信号从而控制所述控制阀的开闭。
2.根据权利要求1所述的显影机加显影液的系统,其特征在于,所述控制器为可编程序控制器。
3.根据权利要求1或2所述的显影机加显影液的系统,其特征在于,所述控制器用于在所述显影液的液位为第一液位时打开所述控制阀。
4.根据权利要求3所述的显影机加显影液的系统,其特征在于,所述控制器还用于在所述显影液的液位为第二液位时关闭所述控制阀,其中所述第一液位低于所述第二液位。
5.根据权利要求4所述的显影机加显影液的系统,其特征在于,所述控制器还用于在所述显影液的液位为第三液位时停止显影机的工作,其中所述第三液位低于所述第二液位。
6.根据权利要求1或2所述的显影机加显影液的系统,其特征在于,还包括报警装置,所述报警装置用于接收所述液位传感器的测量结果,并根据所述测量结果发出报警。
7.一种显影机,包括用于储存显影液的显影液罐,其特征在于,所述显影机还包括上述任意一项权利要求所述的显影机加显影液的系统。
8.根据权利要求7所述的显影机,其特征在于,所述显影机为涂胶显影机。
9.一种显影机加显影液的方法,其特征在于,包括:
用液位传感器测量显影机的显影液罐中显影液的液位,并将测量结果发送给控制器;
当所述显影液的液位为第一液位时,所述控制器控制驱动机构打开输液管道上的控制阀,通过所述输液管道向所述显影液罐输送显影液。
10.根据权利要求9所述的显影机加显影液的方法,其特征在于,在所述控制器打开输液管道上的控制阀,通过输液管道向所述显影液罐输送显影液后,还包括:
当所述显影液的液位为第二液位时,所述控制器控制所述驱动机构关闭输液管道上的控制阀,停止输送显影液,其中所述第一液位低于所述第二液位。
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