[发明专利]显影机及其加显影液的系统和方法

说明书

技术领域

本发明涉及显影技术领域，尤其涉及用于半导体工艺中的显影机及其加显影液的系统和方法。

背景技术

显影机是半导体工艺中的一种常用设备，用于将显影液喷在涂覆有光刻胶的基板上，以进行显影。显然，为保证显影机的连续生产，需对显影机的显影液罐中的显影液进行及时补充。如图1所示，在现有的显影机(例如SVG 90S涂胶显影机)的加显影液的系统中，带有控制11阀的输液管道1连接显影液供液系统3(例如场务供液系统)和显影机的显影液罐2，显影液罐2中设有与报警装置5相连的液位传感器4，当显影液罐2中显影液的液位降到低液位21时，液位传感器4向报警装置5发出信号，报警装置5发出蜂鸣报警，并显示TANK LOW，操作人员听到报警后手动打开控制阀11，通过输液管道1向显影液罐2加显影液，待显影液罐2中的液位达到高液位22时，报警装置5停止报警，显示TANK HIGH，操作人员再手动关闭控制阀11。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：由于现有的显影机的加显影液操作要靠操作人员手动进行，受人为因素影响大，容易误操作，可靠性差。

发明内容

本发明的实施例提供一种显影机加显影液的系统，其可靠性好。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种显影机加显影液的系统，包括：

带有控制阀的输液管道，连接在显影液供液系统和显影机的显影液罐间，用于从所述显影液供液系统向所述显影液罐输送显影液；

液位传感器，用于测量所述显影液罐中显影液的液位；

驱动机构，用于驱动所述控制阀的开闭；

控制器，用于接收所述液位传感器的测量结果，并根据所述测量结果向所述驱动机构发出控制信号从而控制所述控制阀的开闭。

由于本发明的实施例的显影机加显影液的系统中通过控制器自动开闭控制阀，不受人为因素的影响，故可靠性好。

本发明的实施例还提供一种显影机，其可靠性好。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种显影机，包括用于储存显影液的显影液罐以及上述的显影机加显影液的系统。

由于本发明的实施例的显影机具有上述的显影机加显影液的系统，故其可自动开闭控制阀，不受人为因素的影响，可靠性好。

本发明的实施例还提供一种显影机加显影液的方法，其可靠性好。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种显影机加显影液的方法，包括：

用液位传感器测量显影机的显影液罐中显影液的液位，并将测量结果发送给控制器；

当所述显影液的液位为第一液位时，所述控制器控制驱动机构打开输液管道上的控制阀，通过所述输液管道向所述显影液罐输送显影液。

由于本发明的实施例的显影机加显影液的方法中，控制阀在控制器的控制下自动开闭，不受人为因素的影响，故可靠性好。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为现有的显影机加显影液的系统的结构示意图；

图2为本发明实施例一的显影机加显影液的系统的结构示意图；

图3为本发明实施例二的显影机加显影液的系统的结构示意图；

图4为本发明实施例四的显影机加显影液的方法的流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

本发明实施例提供一种显影机加显影液的系统，如图2所示，其包括：

带有控制阀11的输液管道1，连接在显影液供液系统3和显影机的显影液罐2间，用于从所述显影液供液系统3向所述显影液罐2输送显影液；

驱动机构111，用于驱动所述控制阀11的开闭；

液位传感器4，用于测量所述显影液罐2中显影液的液位；