[发明专利]悬臂式压电头结构的制造方法

权利要求书

1.一种悬臂式压电头结构的制造方法，至少包含步骤：

(a)提供一固定座，其具有一供液流道；

(b)将具有一喷嘴孔的喷孔板仅单侧设置于该固定座上，并于该喷孔板上涂布一干膜层；

(c)提供多个具有出液流道的中间流道板设置于该喷孔板之上，以使每一该中间流道板的该出液流道与该固定座的该供液流道相连通，并于该中间流道板上涂布一干膜层；

(d)提供一振动板设置封盖于该中间流道板上方，以于该固定座上形成多个基板；

(e)以该基板上下同时加温的方式进行一热压，且于施压的状态下降温至接近室温时达成该干膜层完全固化定位于该基板的各板层；

(f)提供一致动片对应贴附设置于该多个基板上；

(g)对该致动片以形成每一该基板的两侧边进行直线切割，促使该致动片对应于该基板之处分别产生多个致动单元，以形成一悬臂式压电头结构。

2.如权利要求1所述的悬臂式压电头结构的制造方法，其中该步骤(f)的该致动片对应贴附设置于该基板上，且该致动片面积的设置位置并未涵盖于该固定座的上方。

3.如权利要求1所述的悬臂式压电头结构的制造方法，其中该步骤(f)的该致动片对应贴附设置于该基板上，且该致动片面积的设置位置涵盖于该固定座的上方。

4.如权利要求1所述的悬臂式压电头结构的制造方法，其中该干膜层为具有阻挡水性溶剂的压克力(Acrylic)系列材质。

5.如权利要求1所述的悬臂式压电头结构的制造方法，其中该干膜层为溶剂型及硬化墨水则可使用环氧树脂(Epoxy)系列材质胶膜。

6.如权利要求1所述的悬臂式压电头结构的制造方法，其中该热压制程使用温度约介于150至200℃，压力则在3至6kg/cm²间，时间约需1小时，且于施压的状态下降温至接近室温时达成该干膜层完全固化定位于该基板的各板层。