[发明专利]悬臂式压电头结构的制造方法

说明书

技术领域

本发明关于一种悬臂式压电头结构，尤指一种悬臂式压电头结构及其制造方法。

背景技术

随着喷墨技术的进步，喷墨技术不再只是应用在传统打印市场上，近年更应用于平面显示器以及半导体产业的制程技术中，然而，为了降低成本以及节省制程时间，纷纷寻求新的喷墨技术，这之中最被广为应用的，就是压电式喷墨技术。

请参阅图1A，其为已知喷墨头多层结构于切割前的平面示意图，如图所示，已知喷墨头多层结构1主要由多层不锈钢板件以高温扩散接合技术堆栈而成，进而形成喷墨头多层结构1的微结构，其中喷墨头多层结构1具有多个喷墨单元100，请参阅图1B，每一喷墨单元100对应具有供墨液流入的入液流道101、供储存墨液的储液室102、压力腔体103、出液流道104以及供墨液喷出的喷嘴孔105等微结构，且在喷墨单元100的入液流道101、储液室102、压力腔体103、出液流道105及喷嘴孔105等微结构上方设置一振动板106，并在振动板106的上方，且对应于压力腔体103的位置设置一致动片107。

然而随着压电式喷墨技术被应用于各种技术领域中，图1B所揭露的喷墨单元100的结构设计将无法符合需求，具有不同型态设计的喷墨头多层结构需被设计开发。

然而，在已知对压电致动片107进行激光切割的过程的中，需要精确地控制切割的位置及均一功率，以对齐每一喷墨单元100的矩形边缘，同时亦需精准地控制切割的深度及宽度，以免因切割过深而破坏压电致动片107之下的振动板106、或是因宽度控制不良而影响到邻近的喷墨单元100，因此，在进行切割前即需设定激光的波长、能量以及进行激光的时间…等参数，以确保激光后的切割尺寸能达到预定致动片107的尺寸要求，如此一来，在进行激光切割前即需花费许多时间设定相关的切割参数，不仅程序复杂，同时更耗费时间。

此外，除了因切割速率在起始停止或转弯均不同，使得功率不均一造成切割深度不均高的不良率，浪费成本，而激光机台的价格相较于其它的切割工具的成本更为昂贵，以及使用激光切割时易因激光的功率不稳定而产生高温，进而导致在切割作业时将会影响致动片107的磁性强度及物理强度。

再者，图1B所示的喷墨单元主要是使用金属熔接接合制程来组装的，其做法是先在各不锈钢板件表面上镀金，再依照方向顺序将各板件迭加起来，接着进行热压以使每两板件间的金原子扩散，最终达成熔接动作。这种组装方式虽然有接合强度极佳的优点，但却需要在无氧的环境下，以500至1000℃的高温来进行，所以设备建立较困难且昂贵，同时辅助热压的治具也须慎选，否则容易变形、变质，甚至崩裂，且此高温制程夹具崩裂或沾粘严重，所以耗损速率极快，除了治具替换费用占成本高以外，在大量生产下质量也极不稳定。再者，金价日渐昂贵、熔接制程不易批次化、以及表面处理不当容易影响熔接效果及良率等，这些都垫高了已知使用金属熔接生产喷墨单元的制造成本。

因此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失的悬臂式压电头结构的制造方法，实为目前迫切需要解决的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种悬臂式压电头结构的制造方法，以解决已知喷墨单元的结构设计无法符合需求，以及已知致动片在进行激光切割前需花费许多时间设定相关的切割参数，不仅程序复杂，同时更耗费时间，另外已知喷墨单元主要是使用金属熔接接合制程来组装，需于无氧于高温环境下进行，设备建立较困难且昂贵而需要高制造成本的缺点。

为达上述目的，本发明的实施态样为提供一种悬臂式压电头结构的制造方法，至少包含步骤：(a)提供一固定座，其具有一供液流道；(b)将具有一喷嘴孔的喷孔板仅单侧设置于固定座上，并于该喷孔板上涂布一干膜层；(c)提供多个具有出液流道的中间流道板设置于该喷孔板之上，以使每一该中间流道板的一出液流道与该固定座的该供液流道相连通，并于中间流道板上涂布一干膜层；(d)提供一振动板设置封盖于中间流道板上方，以于固定座上形成多个基板；(e)以基板上下同时加温的方式进行一热压，且于施压的状态下降温至接近室温时达成干膜层完全固化定位于基板的各板层；(f)提供一致动片对应贴附设置于该多个基板上；(g)对该致动片以形成每一基板的两侧边进行直线切割，促使该致动片对应于该基板之处分别产生多个致动单元，以形成一悬臂式压电头结构。

附图说明

图1A：其为已知喷墨头多层结构于切割前的平面示意图。

图1B：其为图1A所示的喷墨单元的A-A剖面图。

图2A：其为本发明第一较佳实施例的悬臂式压电头结构的剖面图。

图2B：其为图2A的部分结构的俯视图。