[发明专利]基板的研磨方法及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板的研磨方法及其装置，尤其涉及用于研磨玻璃基板而制造液晶显示器用玻璃基板的研磨方法及其装置。

背景技术

对于适用于液晶显示器的玻璃基板，由于其表面的微小凹凸及起伏会导致画面变形，因此通过研磨装置除去该微小凹凸及起伏。作为此类研磨装置，一般熟知的是向设置于研磨平台的研磨布推压保持于托架上的玻璃基板，并且使研磨平台及托架相对旋转而研磨玻璃基板的研磨装置。

另外，关于日本特开9-141550号公报等所公开的研磨装置，在托架的下部设置可挠性膜，并且向可挠性膜和托架之间供给加压气体，利用该加压气体的压力，将贴在可挠性膜的基板按压在研磨布上而进行研磨。根据该研磨装置，利用存在于可挠性膜和托架之间的空间内的加压气体，对基板的各部分施加的压力成为均匀的压力，因此具有能够将基板研磨平坦并除去基板表面的微小凹凸的优点。

但是，上述目前的研磨装置中没有提出如何将从托架卸下的研磨完成后的玻璃基板从研磨台运出的运出单元。尤其是在例如一边超过1000mm的大型玻璃基板的情况下，在研磨台上的拆卸及对其进行处理而运出的情况是非常困难且需要很长时间的，从而导致生产性下降。

伴随近年来液晶显示器的大画面化，对于此类大型玻璃基板的研磨装置，期望得到消除研磨完成后的玻璃基板的运出所涉及的上述问题并提高生产性的研磨装置。

发明内容

本发明是鉴于这些情况而完成的，其目的在于提供适于大型玻璃基板的研磨的玻璃基板的研磨方法及其装置。

为了实现所述目的，本发明提供研磨方法，其特征在于，具有：在铺设有可贴合基板的膜体的膜框上贴合基板并将该膜框安装于托架的安装工序、或将铺设有可贴合基板的膜体的膜框安装于托架并将基板贴合在该膜框上的工序；使安装了该膜框的托架和研磨平台相对接近，将贴合在所述膜体上的基板的研磨面按压在所述研磨平台上而进行研磨的工序；及在基板研磨结束后从所述托架卸下所述膜框并从该膜框卸下所述基板的工序、或在基板研磨结束后从所述膜框卸下所述基板并从所述托架卸下所述膜框的工序。

优选的是，其特征在于，具有：在铺设有可贴合玻璃基板的膜体的膜框上贴合玻璃基板的工序；将贴合了该玻璃基板的所述膜框安装于托架的工序；使安装了该膜框的托架和研磨平台相对接近，将贴合在所述膜体上的玻璃基板的研磨面按压在所述研磨平台上进行研磨的工序；在该玻璃基板的研磨结束后从所述托架卸下所述膜框的工序；及从该膜框卸下研磨结束后的所述玻璃基板的工序。

另外，为了实现所述目的，本发明提供研磨装置，其特征在于，具备：在铺设有可贴合基板的膜体的膜框上贴合基板的基板贴合台；将膜框安装于托架的膜框安装台；在将膜框安装于托架后，使托架和研磨平台相对接近，将贴合在所述膜体上的基板的研磨面按压在所述研磨平台上进行研磨的研磨台；从托架卸下膜框的膜框拆卸台；将研磨结束后的基板从膜框卸下的基板拆卸台。

优选的是，具备：在铺设有可贴合玻璃基板的膜体的膜框上贴合玻璃基板的玻璃基板贴合台；在该膜框安装于托架后，使托架和研磨平台相对接近，将贴合在所述膜体上的玻璃基板的研磨面按压在所述研磨平台上进行研磨的研磨台；在该玻璃基板研磨结束后，在从该托架卸下膜框后输送膜框，并从该膜框卸下研磨结束后的所述玻璃基板的玻璃基板拆卸台。

根据第一、四方面所述的发明，首先，在玻璃基板贴合台上，将研磨前的玻璃基板贴合在膜框的膜体上。接着，在膜框安装台上，将贴合了所述玻璃基板的所述膜框安装于托架。另外，也可以在膜框安装台上将膜框安装于托架，之后，在玻璃基板贴合台上将研磨前的玻璃基板贴合在膜框的膜体上。

接着，在研磨台上，使安装了所述膜框的托架和研磨平台相对接近，将贴合在膜体上的玻璃基板的研磨面按压在研磨平台上进行研磨。

而后，在玻璃基板研磨结束后，将该膜框从研磨台向膜框拆卸台输送，在膜框拆卸台上将膜框从托架卸下，之后在玻璃基板拆卸台上将研磨结束后的玻璃基板从膜框卸下。另外，也可以在玻璃基板拆卸台上将研磨结束后的玻璃基板从膜框卸下，之后在膜框拆卸台上将膜框从托架卸下。

这样，本发明将玻璃基板贴合于在托架上装卸自如的膜框上，在研磨结束后不在研磨台上将玻璃基板从膜框卸下，而是在远离研磨台的玻璃基板拆卸台上将研磨结束后的玻璃基板从膜框卸下。由此，本发明能够消除大型玻璃基板特有的玻璃基板的运出所涉及的问题，生产性提高。

另外，第二、五方面所记载的发明在清洗台对卸下了玻璃基板的所述膜框进行了清洗后，将该膜框反复用于玻璃基板的贴合，因此使膜框为必要最小限即可，能够有利于节省资源。