[发明专利]一种光掩模在清洗过程中的传输方法

权利要求书

1.一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于具有以下步骤：

①先将光掩模放置于卡盘(2)上；

②机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其移动至翻转装置上；

③翻转装置将卡盘(2)上的光掩模翻转；

④机械手(1)再次抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其依次移动至各个不同的工艺腔内进行清洗；

⑤清洗完成后机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其送回翻转装置上；

⑥翻转装置再次将卡盘(2)上的光掩模翻转；

⑦机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其送回初始位置。

2.根据权利要求1所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于：步骤①中的卡盘(2)包括把手(21)、托盘(22)和数个定位机构(23)；所述把手(21)位于托盘(22)的底部，定位机构(23)均匀设置于卡盘(2)的托盘(22)的上部；

步骤①中光掩模放置于卡盘(2)上的具体方法是：将光掩模放置在卡盘(2)的定位机构(23)上，由定位机构(23)卡住光掩模。

3.根据权利要求2所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于：所述卡盘(2)的定位机构(23)有侧面设有缺口(24)，中心设有穿过托盘(22)的圆孔(25)。

4.根据权利要求3所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于：所述卡盘(2)的定位机构(23)的下半部为圆柱形，上半部分为两片扇型柱，缺口(24)位于两片扇型柱之间；所述定位机构(23)通过两片扇型柱卡住光掩模。

5.根据权利要求4所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于：所述卡盘(2)的定位机构(23)上还在所述圆孔(25)附近设置有用于支撑光掩模的凸点(26)。

6.根据权利要求5所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于：所述卡盘(2)的把手(21)的底部设有非圆形的卡槽(27)，把手(21)左右两侧的中部均设有抓槽(28)。

7.根据权利要求6所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于：所述步骤②中的机械手(1)的形状与抓槽(28)相配合；

步骤②中机械手(1)抓住把手(21)的具体方法是：机械手(1)抓住把手(21)的抓槽(28)的槽底。

8.根据权利要求7所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于：步骤③和④中的翻转装置和工艺腔均设有与卡盘(2)的卡槽(27)配合的卡头。

将卡盘(2)放置在翻转装置和工艺腔的方法是：让卡盘(2)的卡槽(27)罩住翻转装置或者工艺腔的卡头。

9.根据权利要求8所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于：对于不同型号的光掩模设有相应型号的卡盘(2)，卡盘(2)的把手(21)的尺寸和形状是固定的。

10.根据权利要求9所述的一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于：所述卡盘(2)是耐腐蚀的塑料材质。