[发明专利]平板抓取释放装置在审
| 申请号： | 201010502603.3 | 申请日： | 2010-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102064125A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;王银果;刘惠森;范继良;王曼媛;王勇;张华 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/68 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平板 抓取 释放 装置 | ||
1.一种平板抓取释放装置，其特征在于：包括固定板、驱动气缸、内抓手驱动板、内抓手、内抓手驱动齿条、齿轮、外抓手驱动板、外抓手及外抓手驱动齿条，所述固定板呈水平放置，所述驱动气缸与所述固定板固定连接，所述驱动气缸的连杆与所述内抓手驱动板连接，所述内抓手驱动板及外抓手驱动板均呈滑动的连接于所述固定板上且相互平行，所述内抓手驱动齿条呈垂直的与所述内抓手驱动板固定连接，所述外抓手驱动齿条呈垂直的与所述外抓手驱动板固定连接，所述齿轮枢接于所述固定板上且位于所述内抓手驱动齿条与外抓手驱动齿条之间，所述内抓手驱动齿条与外抓手驱动齿条分别与所述齿轮啮合，所述外抓手凸伸出与所述外抓手驱动板固定连接，所述内抓手凸伸出与所述内抓手驱动板固定，凸伸出的所述外抓手与所述内抓手之间形成平板夹持区。
2.如权利要求1所述的平板抓取释放装置，其特征在于：所述固定板上设置有平行于所述驱动气缸的连杆的滑轨，所述内抓手驱动板及外抓手驱动板分别设有具有滑槽的滑块，所述滑轨呈滑动的卡合于所述滑槽内。
3.如权利要求1所述的平板抓取释放装置，其特征在于：所述内抓手及外抓手均具有卡槽，所述卡槽相互正对且位于同一平面，相互正对的所述卡槽形成所述平板夹持区。
4.如权利要求1所述的平板抓取释放装置，其特征在于：还包括若干推杆，所述外抓手通过所述推杆与所述外抓手驱动板固定连接，所述内抓手通过所述推杆与所述内抓手驱动板固定。
5.如权利要求4所述的平板抓取释放装置，其特征在于：所述固定板邻近所述外抓手驱动板的一端弯折形成挡板，所述推杆均枢接地穿过所述挡板。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
