[发明专利]使用芯片的检查装置

权利要求书

1.一种使用芯片的检查装置，具备：

转子，保持芯片；

测量室，收存该转子，并设置有贯穿孔；

光源，穿过上述贯穿孔，对上述芯片照射测量用的光；

测光部，检测来自上述芯片的光；以及

旋转驱动机构，对上述转子进行旋转驱动，

其特征为，

在上述贯穿孔和使光通过的测光部的开口部之间，具备能够遮蔽或者非遮蔽上述开口部的遮蔽体，

在不对上述芯片照射光时以及不由测光部进行检测时，利用上述遮蔽体来遮蔽上述开口部。

2.如权利要求1所述的使用芯片的检查装置，其特征为，

具备：

孔部，设置于上述转子上；

凸部，设置为能够嵌合于上述孔部；以及

驱动机构，使该凸部和上述遮蔽体可动，

按照上述驱动机构的旋转位置，使上述凸部嵌合于或者非嵌合于上述孔部，并且移动上述遮蔽体来遮蔽或者非遮蔽上述开口部。

3.如权利要求2所述的使用芯片的检查装置，其特征为，

具备：

移动体，设置为能够通过上述驱动机构进行移动；

挡块，设置于该移动体上；以及

位置传感器，检测该挡块的移动位置，

根据上述位置传感器的检测结果，来控制上述驱动机构的旋转位置。

4.一种控制方法，用于权利要求2或3所述的使用芯片的检查装置，其特征为，

具备下列工序：

在遮蔽上述开口部的状态下，对上述孔部嵌合上述凸部的工序；

在遮蔽上述开口部的状态下，解除上述孔部和上述凸部之间的嵌合，使上述转子进行旋转的工序；以及

在不遮蔽上述开口部的状态下，由上述测光部照射光并进行检测的工序。