[发明专利]使用芯片的检查装置有效

专利信息
申请号: 201010502678.1 申请日: 2010-09-29
公开(公告)号: CN102042957A 公开(公告)日: 2011-05-04
发明(设计)人: 小川义正;金田和之 申请(专利权)人: 优志旺电机株式会社
主分类号: G01N21/15 分类号: G01N21/15;G01N21/01
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 徐殿军
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 使用 芯片 检查 装置
【说明书】:

技术领域

本发明涉及一种使用芯片的检查装置,特别涉及到使芯片旋转,对利用离心力而积存的样品进行光学检查的使用芯片的检查装置。

背景技术

图8是表示专利文献1所示的样品成分检测装置的附图。如该图所示,该装置用来将被注入样品后的模件201保持于圆盘202上,由离心驱动机构203使圆盘202进行旋转来施加离心力,从光源204对在其结果上所获得的样品照射光,由光检测部205来检测从样品放射出的荧光。并且,在该文献中,记述有如下情况,即,可以提供一种即便在微阵列上附着了灰尘等的异常状态下,也不给测量结果带来影响的样品成分检测装置。

专利文献1:日本特开2005-300292号公报

专利文献2:日本特开2008-268198号公报。

但是,在专利文献1所示的那种使用芯片的检查装置中,将注入有样品的模件201保持于圆盘202上,为了对圆盘202施加较大的离心力,需要使圆盘202高速旋转。其结果为,在装置内部,尘土及灰尘等的异物飞扬,有在光学部件206上附着异物的危险。若在光学部件206上附着了异物,则致使来自光源204的光及来自样品的光照到异物上,存在使测量精度下降的问题。

下面详细说明该问题。首先,(1)在样品的检测中使用吸光光度法的情况下,使来自光源的光通过样品,由光检测器来检测其光度。此时,根据光源的光度和光检测器之间的光度差,查看被样品吸收了多少的光度,来分析样品。可是,若在光学部件上附着了异物,则在光检测器中,无法判别是由样品吸收光度而使光度下降,还是由异物遮光而使光度下降,从而存在得不到正确的测量结果的情况。另外,(2)在样品的检测中使用荧光测量法的情况下,通过将来自光源的光对样品进行照射,样品被激励而发出荧光,由光检测器来检测其荧光。可是,若在光学部件上附着了异物,则也会对异物照射光,从而从异物也会发出荧光。如此一来,在光检测器中,无法判别是来自样品的荧光,还是来自异物的荧光,从而存在得不到正确的测量结果的情况。

发明内容

本发明的目的在于,鉴于上述的问题所在,提供一种抑制了对检测样品所用的测光部等光学部件的异物附着的、使用芯片的检查装置。

为了解决上述课题,技术方案1所述的发明是一种使用芯片的检查装置,具备:转子,保持芯片;测量室,收存该转子,并设置贯穿孔;光源部,穿过上述贯穿孔,对上述芯片照射测量用的光;测光部,检测来自上述芯片的光;以及,旋转驱动机构,对上述转子进行旋转驱动,

其特征为,在上述贯穿孔和使光通过的测光部的开口部之间,具备能够遮蔽或者非遮蔽上述开口部的遮蔽体,在不对上述芯片照射光时以及不由测光部进行检测时,利用上述遮蔽体来遮蔽上述开口部。

技术方案2所述的发明是如技术方案1所述的使用芯片的检查装置,其特征为,具备:孔部,设置于上述转子上;凸部,设置为能够嵌合于上述孔部;以及,驱动机构,使该凸部和上述遮蔽体可动,

按照上述驱动机构的旋转位置,使上述凸部嵌合于或者非嵌合于上述孔部,并且移动上述遮蔽体来遮蔽或者非遮蔽上述开口部。

技术方案3所述的发明是如技术方案2所述的使用芯片的检查装置,其特征为,具备:移动体,设置为能够通过上述驱动机构进行移动;挡块(dog),设置于该移动体上;以及,位置传感器,检测该挡块的移动位置,

根据上述位置传感器的检测结果,来控制上述驱动机构的旋转位置。

技术方案4所述的发明是一种控制方法,用于技术方案2或3所述的使用芯片的检查装置,其特征为,具备下列工序:在遮蔽上述开口部的状态下,将上述凸部嵌合于上述孔部的工序;在遮蔽上述开口部的状态下,解除上述孔部和上述凸部之间的嵌合,使上述转子进行旋转的工序;以及在不遮蔽上述开口部的状态下,由上述测光部照射光并进行检测的工序。

发明效果

根据技术方案1所述的发明,由于除了由测光部检测样品时以外,测光部都封闭,因而来自测量室的异物(灰尘及尘土)进不到测光部中。因此,可以抑制由测光部检测异物因被照射光而发出的光,或因异物而被遮光的光。

根据技术方案2所述的发明,可以使移动遮蔽体的驱动机构和移动凸部的驱动机构通用化,实现小型化。另外,由于在芯片的插入时,可以使转子不旋转,因而可以简单地进行操作。

根据技术方案3所述的发明,由于设置位置传感器,根据位置传感器的检测结果来控制驱动机构的移动位置,因而可以正确地控制凸部及遮蔽体的动作。

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