[发明专利]表面性质和形状测定机和表面性质和形状测定方法

权利要求书

1.一种表面性质和形状测定机，测定被测定物的表面性质和形状，其特征在于，具备：

承载所述被测定物的工作台、

具有与所述被测定物表面接触的测头的接触式检测器、

对所述被测定物的表面图像进行摄像的图像探测器、

使所述接触式检测器和所述图像探测器与所述工作台相对移动的相对移动机构、

控制所述相对移动机构的驱动而且把由所述接触式检测器得到的测定数据和由所述图像探测器取得的图像数据进行处理的控制装置，

所述控制装置包括：

中心位置计算机构，其当通过所述图像探测器而被输入所述被测定物的圆形凹状部或圆形凸状部的圆形轮廓线中至少三点以上的位置数据时，对输入的位置数据适当配置圆并求中心位置；

测头设置机构，其在所述中心位置计算机构求出中心位置时，使所述相对移动机构动作，使所述接触式检测器的测头位于所述中心位置。

2.如权利要求1所述的表面性质和形状测定机，其特征在于，

所述接触式检测器的测头和所述图像探测器在它们任一个在测定时，把另一个偏置配置在不妨碍的位置，

且具备存储所述接触式检测器的测头前端和所述图像探测器的偏置量的偏置量存储机构，

在所述中心位置计算机构求出中心位置时，所述测头设置机构使所述相对移动机构动作而使所述图像探测器位于所述中心位置，然后使所述相对移动机构以存储在所述偏置量存储机构的偏置量进行动作而使所述接触式检测器的测头位于所述中心位置。

3.一种表面性质和形状测定方法，其所使用的表面性质和形状测定机具备：承载被测定物的工作台、具有与所述被测定物表面接触的测头的接触式检测器、对所述被测定物的表面图像进行摄像的图像探测器、使所述接触式检测器和所述图像探测器与所述工作台相对移动的相对移动机构、控制对所述相对移动机构的驱动而且把由所述接触式检测器得到的测定数据和由所述图像探测器取得的图像数据进行处理的控制装置，所述表面性质和形状测定方法利用所述表面性质和形状测定机测定具有圆形凹状部或圆形凸状部的被测定物的表面性质和形状，其特征在于，具备：

轮廓数据取得工序，其使所述相对移动机构动作而利用所述图像探测器来取得所述被测定物圆形凹状部或圆形凸状部的圆形轮廓线中至少三点以上的位置数据；

适当配置圆工序，其向所述轮廓数据取得工序取得的位置数据适当配置圆并求出圆的中心位置；

测头设置工序，其使所述相对移动机构动作而把所述接触式检测器的测头位于由所述适当配置圆工序求出的中心位置；

测定工序，其在所述接触式检测器的测头位于所述被测定物的圆形凹状部或圆形凸状部的中心位置的状态下，使所述相对移动机构动作，一边使所述接触式检测器的测头与被测定物相对移动，一边来测定圆形凹状部或圆形凸状部的表面性质和形状。

4.一种表面性质和形状测定机，在把被测定物的姿态调整成为与规定的测定轴平行的姿态或垂直的姿态后，来测定所述被测定物的表面性质和形状，其特征在于，具备：

工作台，其承载所述被测定物且具有使所述被测定物在规定平面内旋转的旋转台；

接触式检测器，其具有与被测定物表面接触的测头；

图像探测器，其对所述被测定物的表面图像进行摄像；

相对移动机构，其使所述旋转台和所述接触式检测器相对移动；

控制装置，其控制所述相对移动机构和所述旋转台，

所述控制装置具备：

图像探测器控制机构，其利用所述图像探测器来对所述被测定物进行摄像；

倾斜角计算机构，其根据所述图像探测器控制机构所摄像的所述被测定物的图像来计算所述被测定物相对所述测定轴的倾斜角；

姿态调整机构，其根据所述倾斜角计算机构计算出的倾斜角来使所述旋转台旋转，以把所述被测定物的姿态调整成为与所述测定轴平行的姿态或垂直的姿态。