[发明专利]表面性质和形状测定机和表面性质和形状测定方法

说明书

技术领域

本发明涉及测定被测定物的表面形状和表面粗糙度等的表面性质和形状测定机和表面性质和形状测定方法。详细说就是涉及具备具有测头的接触式检测器和图像探测器的表面性质和形状测定机和表面性质和形状测定方法。

背景技术

公知的是如下所述的表面性质和形状测定机，在使测头与被测定物的表面接触的状态下，使测头沿被测定物表面移动，这时，检测由被测定物的表面形状和表面粗糙度所引起产生的测头变位，根据该测头的变位来测定被测定物的表面形状和表面粗糙度等表面性质和形状(例如参照文献1：特开平5-87562号公报)。

以往，表面性质和形状测定机在测定被测定物的表面形状和表面粗糙度等时，测定者要一边通过目视调整测头前端与被测定物测定部位的相对位置，一边把测头前端设置在被测定物的测定开始位置，然后使测头沿被测定物的表面相对移动。于是，由于被测定物的表面形状和表面粗糙度等而使测头上下变位，根据该测头的上下变位来测定被测定物的表面形状和表面粗糙度等表面性质和形状。

表面性质和形状测定机中，在测定被测定物表面时若被测定物的姿态相对测定轴倾斜，则有可能测定结果产生误差。例如在测定圆筒表面的轴向性质和形状时若圆筒的姿态相对测定轴倾斜，在使测头沿测定轴移动时，测头则成为一边在圆筒的轴向移动一边在圆筒的外周方向上也移动。因此，测定值在表示圆筒表面的轴向凹凸中还混入有表示圆筒外周形状的成分，测定结果产生误差。且表面性质和形状测定机中，在被测定面相对水平面倾斜时，也有可能测定结果产生误差。

于是，在正式测定前使用测头进行预备测定，根据测定结果来把被测定物的姿态例如调整成为与测定轴平行的姿态的表面性质和形状测定机被开发(例如文献2：特开2000-266534号公报)。文献2的表面性质和形状测定机具备使被测定物在水平面内旋转的旋转台，根据使用测头进行预备测定的结果而使旋转台旋转，进行使被测定物的姿态调整成为与测定轴平行的姿态的所谓调准正(通りだし)。

且文献2的表面性质和形状测定机具备使被测定物相对水平面倾斜的调平台，根据使用测头进行预备测定的结果而使调平台倾斜，进行使被测定物的姿态调整成为被测定面成为水平的姿态的所谓调准水平(水平だし)。

近年来，在被测定物的微细化、细线化的潮流中，在被测定物和测定部位微细化的今天，上述测头的设置作业非常困难，且耗费时间，测定者的负担也大。

也估计有由于被测定物而使测头与被测定物出现干涉(碰撞)并招致测头和被测定物破损的情况。

特别是如图18A～图18C所示，在求微型透镜阵模具71所形成的多个直径1mm以下的凸状(或凹状)微型透镜成形面72的半径值和直径值等时，若测头不是在具有微型透镜成形面72的顶点(峰值或谷底值)的中心线上正确地追迹，就不能得到正确的测定结果。

对于这种测定物现有是如图19A～图19C所示，需要测定者一边通过目视来确认测头24的前端与微型透镜成形面72的相对位置(参照同图(A))，一边使测头24的前端位于微型透镜成形面72上，然后使承载被测定物即微型透镜阵模具71的工作台运动(参照同图(B))，检测微型透镜成形面72的顶点(参照同图(C))，在该状态下，相对移动以使测头24在微型透镜成形面72的中心线上追迹，进行测定。

因此，现有的作业中，与测定时间比较而测头的设置时间非常长(例如测定时间是约10秒，设置时间是约120秒)。

文献2的表面性质和形状测定机中，由于预备测定由多个工序构成，且使用测头对被测定物表面进行预备测定，所以有预备测定非常耗费时间的问题。而且还有由测头有可能使被测定物划伤的问题。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种能够缩短测头设置时间的表面性质和形状测定机和表面性质和形状测定方法。

本发明的第二目的在于提供一种能够缩短预备测定所需要的时间，而且在预备测定时使被测定物不划伤的表面性质和形状测定机。