[发明专利]光致发光薄膜、壳体及壳体的制作方法无效
申请号: | 201010508291.7 | 申请日: | 2010-10-14 |
公开(公告)号: | CN102448264A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;王莹莹 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H05K5/00 | 分类号: | H05K5/00;C09K11/62;C23C14/08;C23C14/34 |
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地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光致发光 薄膜 壳体 制作方法 | ||
1.一种光致发光薄膜,其特征在于:所述光致发光薄膜主要由掺铟氧化锌组成。
2.如权利要求1所述的光致发光薄膜,其特征在于:所述光致发光薄膜进一步包括一种或多种稀有元素。
3.如权利要求2所述的光致发光薄膜,其特征在于:所述稀有元素包括锶、铕、铂。
4.如权利要求1所述的光致发光薄膜,其特征在于:所述光致发光薄膜的厚度在500nm以内。
5.一种壳体,包括一基体及形成在基体上的一光致发光薄膜,其特征在于:所述光致发光薄膜主要由掺铟氧化锌组成。
6.如权利要求5所述的壳体,其特征在于:所述基体包括不锈钢、铜、钛、钛合金、铝、铝合金。
7.一种壳体的制作方法,包括以下步骤:
提供一基体,将基体表面进行清洗;
将基体进行物理气相沉积,形成一光致发光薄膜,该光致发光薄膜主要含有掺铟氧化锌。
8.如权利要求7所述的壳体的制作方法,其特征在于:所述清洗步骤包括化学超声波清洗与等离子体清洗中的至少一种。
9.如权利要求7所述的壳体的制作方法,其特征在于:所述物理气相沉积的步骤具体为:开启锌靶与通入氧气,锌靶的功率为3~10kw,溅镀20~60min,氧气流量为10~120sccm,使基体表面溅射形成氧化锌膜,然后关闭锌靶并停止通入氧气,接着开启铟靶溅镀5~10分钟,使氧化锌膜表面掺杂铟。
10.如权利要求9所述的壳体的制作方法,其特征在于:所述锌靶靶材为单一的锌金属。
11.如权利要求9所述的壳体的制作方法,其特征在于:所述锌靶靶材为锌与稀有元素的一种或多种形成的合金。
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