[发明专利]切膜刀具及切膜设备

权利要求书

1.切膜刀具，包括刀片，其特征在于，所述刀片角度可调地安装于支架上；还包括第一弹性复位装置，第一弹性复位装置可随着刀片角度的变化而产生弹性变形力，该弹性变形力可使刀片回复至角度未变化的状态。

2.根据权利要求1所述的切膜刀具，其特征在于，所述刀片安装于转动支架上，所述的转动支架可转动地安装于支架上；在转动支架转动时，第一弹性复位装置随着转动支架的转动而产生弹性变形力，该弹性变形力可使转动支架回复至未转动前的状态。

3.根据权利要求1所述的切膜刀具，其特征在于，所述第一弹性复位装置选自拉伸弹簧、压缩弹簧、扭簧和涡旋弹簧中的一种。

4.根据权利要求1或2所述的切膜刀具，其特征在于，所述的转动支架为杆状，所述支架设置有内凹槽；所述的转动支架穿过支架，一端位于内凹槽内，另一端突出于支架，刀片安装于所述的另一端上；所述内凹槽内安装有第一涡旋弹簧，所述第一涡旋弹簧外端连接于支架上，内端连接于转动支架上。

5.根据权利要求4所述的切膜刀具，其特征在于，所述的刀片安装于刀架上，所述刀架角度可调地安装于转动支架上。

6.根据权利要求5所述的切膜刀具，其特征在于，所述刀架套装于转动支架端部；刀架上安装有第一顶紧装置，所述第一顶紧装置可穿过支架顶住转动支架，将两者固定连接。

7.根据权利要求1所述的切膜刀具，其特征在于，所述支架直线位置可调地安装于第一机架上。

8.根据权利要求7所述的切膜刀具，其特征在于，还包括第二弹性复位装置，所述第二弹性复位装置随着支架位置的变化而产生弹性力，该弹性力可使支架回复至未移动前的位置。

9.根据权利要求8所述的切膜刀具，其特征在于，所述第二弹性复位装置选自拉伸弹簧、压缩弹簧、扭簧、涡旋弹簧和弹性带中的一种。

10.根据权利要求8所述的切膜刀具，其特征在于，第一机架上安装有芯轴，转轮可转动地安装于芯轴上；所述的第二弹性复位装置为第二涡旋弹簧；所述第二涡旋弹簧内端连接于芯轴上，外端连接于转轮上；转轮和支架通过连接带或连接绳连接。

11.根据权利要求8所述的切膜刀具，其特征在于，第一机架上安装有芯轴，转轮可转动地安装于芯轴上；转轮和支架通过弹性带连接，所述弹性带随着支架位置的变化而产生弹性力，该弹性力可使支架回复至未移动前的位置。

12.根据权利要求7所述的切膜刀具，其特征在于，还包括导向装置，所述的支架位置调整时沿着导向装置调整。

13.根据权利要求12所述的切膜刀具，其特征在于，所述的导向装置为导向杆，所述的支架上设置有第一通孔，所述支架套装在导向杆上并可沿导向杆移动。

14.根据权利要求7所述的切膜刀具，其特征在于，所述第一机架可移动地安装于第二机架上。

15.根据权利要求14所述的切膜刀具，其特征在于，所述第二机架上设置有第二通孔，所述第一机架上设置有连杆，所述连杆穿过第二通孔并可在第二通孔内移动。

16.根据权利要求15所述的切膜刀具，其特征在于，还包括连接装置，所述连接装置可插入第二通孔内使第二机架与连杆连接。

17.根据权利要求15所述的切膜刀具，其特征在于，所述的连杆上设置有标识线。

18.切膜设备，其特征在于，包括前述任一权利要求所述的切膜刀具，还包括支撑板，所述支撑板设置有在刀片切膜时可允许刀片插入的凹槽。

19.根据权利要求18所述的切膜设备，其特征在于，所述的凹槽根据晶圆的形状设置有至少一圈。

20.根据权利要求19所述的切膜设备，其特征在于，所述的凹槽根据不同尺寸的晶圆的形状设置有多圈，多圈凹槽同心设置。