[发明专利]切膜刀具及切膜设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种切膜刀具及切膜设备。

背景技术

通常将晶圆电路面，即完成芯片功能的那一面称为正面，另外一面即为背面。晶圆加工过程中，为各种用途，常需要在晶圆表面贴一层薄膜。有一种薄膜是为了在切割晶圆时保护晶圆的，称为切割膜，切割膜贴覆在晶圆背面。有的薄膜是在其它工序中起保护作用，如减薄膜是在晶圆减薄过程中保护晶圆。当减薄膜被贴覆在晶圆上面后，需要将减薄膜修剪为与晶圆的形状相同。而现有技术中使用的减薄膜是长方形的，晶圆一般是圆形或带直边的圆形，因此，在减薄膜贴覆在晶圆表面后需要将多余的减薄膜切除。

为保证切割后胶膜边缘与晶圆边缘切合，周边无多余的胶膜(称作飞边)，切割刀在径向定位时需要与晶圆进行轻微的接触，同时切割刀在径向受到一定的向圆心方向的拉力，使切割刀正好紧靠晶圆。其中一种切膜设备，切割刀的形式采用摇柄设计，通过手动摇动手柄一圈，可以使切割刀沿圆形的轨迹运动一圈。在切割标准圆形晶圆时，此装置可以较好的完成任务。但在切割如图1所示的带直边的晶圆1时，不仅在弧形边11与直边12交界处，会产生比较明显的飞边，而且沿整条直角边12都会存在飞边。产生飞边的原因有二，一是切割刀在沿晶圆的弧形边11移动时，其刀刃的朝向是适应沿弧形边11切割减薄膜的，在刀片移动至直边12时，切割刀的角度无法调整，刀刃的朝向无法调整为适应沿直边12切割，导致沿直边12存在飞边；二是刀片沿弧形边11移动转为沿直边12移动时，由于切割刀的切割角度无法及时适应晶圆形状的突然变化，导致在交界处产生飞边。

为去除多余的飞边，在首次切割后，还需要再次使用切割刀进行局部修整。即使局部修整能够去除飞边，也使得该方法具有以下缺点和不足：

1)增加了工序，降低了生产效率，提高了成本。一台设备正常情况下一个小时可以完成60片左右晶圆的贴膜，如果需要进行手工休整，每小时产能将降低一半，或者需要增加一个操作人员。这对企业来说大大增加了生产成本。

2)增加了破片风险。在手动休整飞边时，需要人直接对晶圆进行操作。而现有技术中使用的晶圆正越来越大，同时也越来越薄，晶圆本身变得十分脆弱，非常容易破裂。因此，手动休整将变得十分困难，很容易造成晶圆破片。

3)手动休整飞边对操作人员的水平提出了较高的要求，不同的操作人员休整后的胶膜形状、生产效率、晶圆破片概率都有不同，不利于企业生产的自动化与产品质量的一致性。

发明内容

本发明的第一个目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可减少切膜过程中的飞边的切膜刀具。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：

切膜刀具，包括刀片，其特征在于，所述刀片角度可调地安装于支架上；还包括第一弹性复位装置，第一弹性复位装置可随着刀片角度的变化而产生弹性变形力，该弹性变形力可使刀片回复至角度未变化的状态。

优选地是，所述刀片安装于转动支架上，所述的转动支架可转动地安装于支架上；在转动支架转动时，第一弹性复位装置随着转动支架的转动而产生弹性变形力，该弹性变形力可使转动支架回复至未转动前的状态。

优选地是，所述第一弹性复位装置选自拉伸弹簧、压缩弹簧、扭簧和涡旋弹簧中的一种。

优选地是，所述的转动支架为杆状，所述支架设置有内凹槽；所述的转动支架穿过支架，一端位于内凹槽内，另一端突出于支架，刀片安装于所述的另一端上；所述内凹槽内安装有第一涡旋弹簧，所述第一涡旋弹簧外端连接于支架上，内端连接于转动支架上。

优选地是，所述的刀片安装于刀架上，所述刀架角度可调地安装于转动支架上。

优选地是，所述刀架套装于转动支架端部；刀架上安装有第一顶紧装置，所述第一顶紧装置可穿过支架顶住转动支架，将两者固定连接。

优选地是，所述支架直线位置可调地安装于第一机架上。

优选地是，还包括第二弹性复位装置，所述第二弹性复位装置随着支架位置的变化而产生弹性力，该弹性力可使支架回复至未移动前的位置。

优选地是，所述第二弹性复位装置选自拉伸弹簧、压缩弹簧、扭簧、涡旋弹簧和弹性带中的一种。

优选地是，第一机架上安装有芯轴，转轮可转动地安装于芯轴上；所述的第二弹性复位装置为第二涡旋弹簧；所述第二涡旋弹簧内端连接于芯轴上，外端连接于转轮上；转轮和支架通过连接带或连接绳连接。

优选地是，第一机架上安装有芯轴，转轮可转动地安装于芯轴上；转轮和支架通过弹性带连接，所述弹性带随着支架位置的变化而产生弹性力，该弹性力可使支架回复至未移动前的位置。