[发明专利]一种用于非晶合金的抛光液以及一种非晶合金的抛光方法

权利要求书

1.一种用于非晶合金的抛光液，包含：钠盐、铵盐以及光亮剂，其特征在于，所述光亮剂为硫酸铈。

2.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述钠盐选自氯化钠、碳酸钠、硝酸钠、磷酸钠、草酸钠、硫酸钠、钼酸钠、乙酸钠、酒石酸钠中的一种或几种；所述铵盐选自氯化铵、钼酸铵、硫酸铵、硫酸氢铵、硝酸铵、碳酸铵、碳酸氢铵、氟化铵、氟化氢铵中的一种或几种；并且，所述钠盐的含量为10-30g/L，所述铵盐的含量为10-30g/L，所述硫酸铈的含量为10-100ppm。

3.根据权利要求2所述的抛光液，其特征在于，所述钠盐为硫酸钠，含量为10-30g/L；所述铵盐为硫酸铵、钼酸铵和氟化氢铵，其中，硫酸铵的含量为10-28g/L，钼酸铵的含量为1-10 g/L，氟化氢铵的含量为1-5 g/L。

4.根据权利要求1或2所述的抛光液，其特征在于，所述硫酸铈的含量为30-50ppm。

5.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述抛光液中还含有缓蚀剂，所述缓蚀剂的含量为1-20 g/L，包含有机膦酸及其盐、苯并三氮唑和钼酸铵中的至少二种。

6.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述抛光液进一步含有络合剂、表面活性剂中的一种或两种；所述络合剂为柠檬酸盐，含量为10-30 g/L；所述表面活性剂选自磺基丁二酸脂钠盐、乙基己基磺酸钠中的一种或两种，含量为0.5-7 g/L。

7.一种非晶合金的抛光方法，其特征在于，所述抛光方法包括对非晶合金进行等离子抛光，其中，所述等离子抛光的方法包括：

将非晶合金与阳极相连，并浸入容纳有如权利要求1-6任意一项所述的抛光液的电解槽中，以电解槽体为阴极，进行等离子抛光，其中，电解槽的操作电压为190-380V的正向脉冲电压，操作电压频率为10-20KHz，操作温度为60-95℃，占空比为5-50%。

8.根据权利要求7所述的抛光方法，其特征在于，电解槽的操作电压为300-320V的正向方波脉冲电压，电压频率为15-18KHz，操作温度为88-95℃。

9.根据权利要求7所述的抛光方法，其特征在于，所述的等离子抛光在PH值为5-7的弱酸条件下进行，时间为20s-10min。

10.根据权利要求7所述的抛光方法，其特征在于，所述抛光方法还包括在对非晶合金进行等离子抛光之前，先对非晶合金进行机械抛光。