[发明专利]镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，其包括：

一个镀膜腔体；及

一个同心料架，所述同心料架设置于所述镀膜腔体内部，所述同心料架可以绕其自身的中心轴旋转；

其特征在于：

所述同心料架具有一个内圈料架，及一个围绕所述内圈料架且与所述内圈料架相连接的外圈料架；所述内圈料架的中央区域设置有至少一个柱状的内靶座，所述外圈料架的外围设置有多个柱状的外靶座，所述内靶座与所述外靶座均用于设置镀膜靶材。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述内靶座与所述外靶座均为圆柱状结构，所述内靶座与所述外靶座可以分别绕自身的中心轴旋转，且所述内靶座的中心轴与所述外靶座的中心轴均平行于所述同心料架的中心轴。

3.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述内圈料架的中央区域设置有三个所述内靶座，所述三个内靶座围绕所述同心料架的中心轴均匀间隔地分布于所述内圈料架的中央区域。

4.如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，所述外圈料架的外围设置有六个所述外靶座，所述六个外靶座以所述同心料架的中心轴为中心均匀间隔地分布于所述外圈料架的外围。

5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述同心料架具有两个连接臂，所述两个连接臂以所述同心料架的中心轴为中心相对地设置于所述内圈料架与所述外圈料架的顶部，且于所述内圈料架与所述外圈料架之间连接所述内圈料架与所述外圈料架，每一所述连接臂均具有一个第一端及一个与所述第一端相对的第二端，所述第一端与所述内圈料架相连接，所述第二端与所述外圈料架相连接。

6.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述内圈料架与所述外圈料架均具有多个平行设置的挂件杆，每一所述挂件杆均平行于所述同心料架的中心轴，且每一所述挂件杆均可以绕其自身的中心轴旋转。

7.如权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，每一所述挂件杆均沿其长度方向设置有多个用于承载待镀膜件的承载盘。

8.如权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，任意一个所述内圈料架的挂件杆与任意一个所述外圈料架的挂件杆及所述同心料架的中心轴不在同一直线上。

9.如权利要求8所述的镀膜装置，其特征在于，所述外圈料架的任意两个相邻的挂件杆的中垂线上均具有一个所述内圈料架的挂件杆。

10.如权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置进一步包括一个传动机构及一个驱动机构；所述传动机构连接所述内圈料架与所述外圈料架及所述驱动机构，所述驱动机构驱动所述内圈料架与所述外圈料架同时绕所述同心料架的中心轴旋转，且驱动每一所述挂件杆绕自身的中心轴旋转。