[发明专利]硅片移动托架的左右平移机构无效
| 申请号： | 201010523689.8 | 申请日： | 2010-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN102032776A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 孙铁囤;荀建华;刘志刚;高玉山;潘盛;姚伟忠;陈琼 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B9/30 | 分类号： | F27B9/30;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 移动 托架 左右 平移 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片移动托架的左右平移机构，其特征是：它包括水平推杆(71)、杠杆(72)、转销(73)、支承座(74)、滑块(75)和竖直导轨(76)，竖直导轨(76)竖直地固定在滑动板(17、37)上，滑块(75)套装在竖直导轨(76)上，杠杆(72)的上端与滑块(75)铰接，杠杆(72)的下端与水平推杆(71)铰接，杠杆(72)的中部通过转销(73)安装在支承座(74)上，支承座(74)安装在固定底板(11、31)上。
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