[发明专利]硅片移动托架的左右平移机构无效

专利信息
申请号: 201010523689.8 申请日: 2010-10-29
公开(公告)号: CN102032776A 公开(公告)日: 2011-04-27
发明(设计)人: 孙铁囤;荀建华;刘志刚;高玉山;潘盛;姚伟忠;陈琼 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: F27B9/30 分类号: F27B9/30;H01L31/18
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 周祥生
地址: 213200 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 移动 托架 左右 平移 机构
【说明书】:

技术领域:

发明涉及一种硅电池片烧结炉,尤其涉及硅电池片烧结炉中硅片输送装置。

背景技术:

在太阳电池片生产工艺中,烧结是使晶体硅基片真正具有光电转换功能的至关重要的一步。因此,烧结设备的性能好坏直接影响着电池片的质量。

目前,国内外的太阳能电池生产制造厂家主要使用欧美企业所生产的烧结炉,这类烧结炉结构都是网带式隧道烧结炉,在烧结炉的纵向上依次设有预热排胶区、升温区、烧结区和降温区,在不同区域布置不同密度的加热灯管,以此来控制各区域的温度,印刷电极的硅片通过网带传输,依次经过烧结炉的不同炉温区,完成预热排胶、升温、烧结和降温的电极烧结过程,虽然这种网带式隧道烧结技术比较成熟,但整个烧结炉的纵向占地面积大,需要设计很长的炉体才能保证硅片在隧道传输过程中的预热排胶、升温、烧结、降温过程,由于高温烧结区的工艺温度需要在850-950℃之间,因此需要设计2-3米的隧道长度才能达到如此高的温度,这使得网带式烧结炉的体积庞大。若缩小则无法满足烧结工艺要求。另外,耐高温网带在运转的过程中,需要绕炉体内外循环运转,网带部分伴随硅片接受升温和降温的过程,因此,在运转过程中,网带会从炉内携带出大量的热量,而这部分热量将全部作为损耗,不仅造成了大量能量的浪费,而且也升高了工作环境温度,为此,申请人研制了一种无网带高效烧结炉,它能很好地克服现有技术的不足,设备占地面积小,热效率高,耗电量少,节能效果显著。

所述无网带高效烧结炉,包括进料台1、隧道式烧结箱2、出料台3、硅片输送装置4和炉体架5,如图1所示,沿隧道式烧结箱2的纵向依次设有预热排胶区21、升温区22、烧结区23和降温区24四个区域,在预热排胶区21、升温区22、烧结区23和降温区24之间均设有隔热板25和气流隔断门8,在预热排胶区21、升温区22和烧结区23内设有加热灯管26,如图2所示;硅片输送装置4设置在进料台1和出料台3之间,它包括固定托架41和移动托架42,固定托架41的两端分别固定在进料台1和出料台3中的固定架12和32上,移动托架42的两端分别固定在进料台1和出料台3中的滑动板17、37上,固定托架41位于两相邻移动托架42之间;进料台1和出料台3的结构相同,都包括固定底板11、31,固定架12、32,导向杆13、33,导向套14、34,活动板15、35,滑轨16、36和滑动板17、37,活动板15、35与固定底板11、31之间通过导向杆13、33与导向套14、34的套装配合结构相连接,滑轨16、36固定在活动板15、35上,滑动板17、37套装在滑轨16、36上,在固定底板11、31和活动板15、35之间设有往复升降机构6,固定底板11、31安装在炉体架5上,在固定底板11、31与滑动板17、37之间设有往复平移机构,如图3、图4、图5所示,往复升降机构6带动活动板15、35相对于固定底板11、31周期性地完成上升和下降动作,往复平移机构带动滑动板17、37相对于活动板15、35周期性地完成前移和后移动作,如图3所示。由此可知,往复升降机构6和往复平移机构是无网带高效烧结炉中的核心驱动机构。

发明内容:

本发明的目的是为无网带高效烧结炉提供了一种硅片移动托架的左右平移机构。

本发明所采用的技术方案是:

所述硅片移动托架的左右平移机构,包括水平推杆、杠杆、转销、支承座、滑块和竖直导轨,竖直导轨竖直地固定在滑动板上,滑块套装在竖直导轨上,杠杆的上端与滑块铰接,杠杆的下端与水平推杆铰接,杠杆的中部通过转销安装在支承座上,支承座安装在固定底板上。

由于移动托架固定在进料台和出料台的滑动板上,当水平推杆左右平移动时,杠杆就会绕转销转动,由于杠杆的下端与水平推杆铰接,杠杆的上端与滑块铰接,滑块套装在竖直导轨上,由于竖直导轨固定在滑动板上,滑动板套装在滑轨上,从而迫使滑动板实现左右平移运动,满足工艺要求。

附图说明:

图1为无网带烧结炉的整体结构示意图;

图2为图1中隧道式烧结箱的结构示意图;

图3为硅片输送装置的结构示意图;

图4、图5为硅片输送装置中固定托架和移动托架的分布示意图;

图5为图4中C-C剖视图;

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