[发明专利]多晶硅生产装置

权利要求书

1.多晶硅生产装置，其特征在于，包括：

底盘；

钟罩，设置在所述底盘之上，与底盘形成反应器；所述钟罩上设有尾气出口；

所述钟罩外部设置夹套，所述夹套上设置夹套冷却油入口与夹套冷却油出口；

所述反应器内部设置内件，所述内件包含中间接管和夹套管，夹套管内设置多晶硅棒；

所述中间接管底部设置工艺气体入口、反应器冷却油入口与反应器冷却油出口。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述内件为一个或者一个以上。

3.根据权利要求1所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述夹套管为偶数个，所述中间接管设置于所述偶数个夹套管中间。

4.根据权利要求1所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述夹套管包括夹套管内管和夹套管外管。

5.根据权利要求4所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述夹套管内管内径为140mm～200mm。

6.根据权利要求1所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述中间接管设有出气孔，所述夹套管内管设有进气孔。

7.根据权利要求6所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述出气孔为一个或者一个以上，所述进气孔为一个或者一个以上。

8.根据权利要求1所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述夹套管和中间接管通过可拆卸的连接件进行连接；所述中间接管下部通过连接管和所述夹套管相连，所述中间接管上部通过连接管和所述夹套管相连。

9.根据权利要求8所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述连接件为螺栓或者连接板。

10.根据权利要求1所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述多晶硅棒穿过所述夹套管顶部，每两根多晶硅棒通过其顶部连接成一对多晶硅棒。

11.根据权利要求1所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述尾气出口设置在钟罩顶部。

12.根据权利要求1所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述钟罩上设有视镜。

13.根据权利要求12所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述视镜设于钟罩上部，所述视镜为一个或一个以上。

14.根据权利要求1所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述底盘设有上底板与下底板，所述上底板与所述下底板通过底盘法兰相连接；所述钟罩与所述夹套及所述底盘通过设备法兰相连接。

15.根据权利要求14所述的多晶硅生产装置，其特征在于：所述中间接管穿过并固定于所述上底板和下底板。