[发明专利]层叠基板的制造装置及制造方法

权利要求书

1.一种层叠基板的制造装置，其特征在于，具备：

贴附机构(40)，其将层叠有支承层(26)和至少1层的树脂层(29)的层叠体(22)按照使所述树脂层(29)侧朝向基板(24)的方式与所述基板(24)粘接，得到贴附基板(24a)；

剥离机构(114)，其将所述支承层(26)从所述树脂层(29)上剥离，得到层叠基板(112)；以及

压接辊机构(120)，其被压接在剥离掉所述支承层(26)的所述树脂层(29)上，通过与所述层叠基板(112)相对地移动，而将所述树脂层(29)的凹凸形状平坦化。

2.根据权利要求1所述的层叠基板的制造装置，其特征在于，所述压接辊机构(120)具备：

一对辊构件(122a、122b)，其配设于所述层叠基板(112)的两面；以及

弹性构件(126)，其将所述一对辊构件(122a、122b)向相互接近的方向推靠，用该一对辊构件(122a、122b)对所述树脂层(29)加压。

3.根据权利要求2所述的层叠基板的制造装置，其特征在于，所述一对辊构件(122a、122b)具备非粘接橡胶辊(134a、134b)。

4.根据权利要求2所述的层叠基板的制造装置，其特征在于，所述一对辊构件(122a、122b)是橡胶硬度为50～80的橡胶辊。

5.根据权利要求2～4中任意一项所述的层叠基板的制造装置，其特征在于，所述一对辊构件(122a、122b)具有轴向中央隆起的凸面形状。

6.根据权利要求2所述的层叠基板的制造装置，其特征在于，所述一对辊构件(122a、122b)与所述层叠基板(112)相对地以26cm/sec以下的速度移动。

7.根据权利要求2所述的层叠基板的制造装置，其特征在于，所述一对辊构件(122a、122b)以0.4MPa以上的压接力夹持所述层叠基板(112)。

8.一种层叠基板的制造方法，其特征在于，具有：

将层叠有支承层(26)和至少1层的树脂层(29)的层叠体(22)按照使所述树脂层侧(29)朝向基板(24)的方式与所述基板(24)粘接而得到贴附基板(24a)的工序；

将所述支承层(26)从所述树脂层(29)上剥离而得到层叠基板(112)的工序；以及

将压接辊机构(120)压接在剥离掉所述支承层(26)的所述树脂层(29)上，通过使所述压接辊机构(120)与所述层叠基板(112)相对地移动，而将所述树脂层(29)的凹凸形状平坦化的工序。