[发明专利]一种单晶硅片制绒液及其用于制绒的方法

权利要求书

1.一种单晶硅片制绒液，包含氢氧化钠、异丙醇，其特征在于，还包含添加剂，其配方以质量比计为：氢氧化钠0.1%～3%，异丙醇2%～10%，添加剂0.01%～2%，其余为水；其中，所述添加剂的配方以质量比计为：葡萄糖、葡萄糖酸钠或葡萄糖酸钾0.001%～3%，聚氧乙烯醚100ppb～8000ppb，乳酸钠或柠檬酸钠0.001%～2%，丙二醇0.001%～2%，硅酸钠0.01%～6%，碳酸钠或碳酸氢钠0.001%～2%，其余为水。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片制绒液，其特征在于，所述的聚氧乙烯醚为壬基酚聚氧乙烯醚或癸基酚聚氧乙烯醚。

3.根据权利要求1所述的单晶硅片制绒液，其特征在于，以质量比计，所述氢氧化钠为0.5%～1.5%，所述异丙醇为4%～8%，所述添加剂为0.1%～1.2%。

4.根据权利要求1，2或3所述的单晶硅片制绒液，其特征在于，在所述添加剂中，以质量比计，葡萄糖、葡萄糖酸钠或葡萄糖酸钾为0.1%～2%，聚氧乙烯醚为800ppb～6000ppb，乳酸钠或柠檬酸钠为0.1%～1.5%，丙二醇为0.05%～1.2%，硅酸钠为0.1%～4%，碳酸钠或碳酸氢钠为0.05%～1%。

5.根据权利要求1至4之任一项所述的单晶硅片制绒液用于制绒的方法，其特征在于，包括以下步骤：

⑴对单晶硅片进行预清洗；

⑵以葡萄糖、葡萄糖酸钠或葡萄糖酸钾0.001%～3%，聚氧乙烯醚100ppb～8000ppb，乳酸钠或柠檬酸钠0.001%～2%，丙二醇0.001%～2%，硅酸钠0.01%～6%，碳酸钠或碳酸氢钠0.001%～2%，其余为水的质量比配制添加剂；

⑶将水计量并加入制绒槽，升温至反应温度70℃～90℃，以质量比计添加水的0.1%～3%的氢氧化钠，2%～10%的异丙醇，0.01%～2%的添加剂；

⑷添加完毕后，将制绒槽内的制绒液搅拌均匀；

⑸将经过预清洗的单晶硅片放入制绒槽内的制绒液中反应，控制反应温度为70℃～90℃，反应时间为10min～30min。

6.根据权利要求5所述的制绒的方法，其特征在于，所述反应温度控制为75℃～85℃。

7.根据权利要求5所述的制绒的方法，其特征在于，以质量比计添加水的0.5%～1.5%的氢氧化钠，4%～8%的异丙醇和0.1%～1.2%的添加剂。

8.根据权利要求5所述的制绒的方法，其特征在于，以葡萄糖、葡萄糖酸钠或葡萄糖酸钾0.1%～2%，聚氧乙烯醚800ppb～6000ppb，乳酸钠或柠檬酸钠0.1%～1.5%，丙二醇0.05%～1.2%，硅酸钠0.1%～4%，碳酸钠或碳酸氢钠0.05%～1%，其余为水的质量比配制添加剂。