[发明专利]探测装置以及衬底运送方法

权利要求书

1.一种探测装置，包括：配置在直线上的多台探测检查室；以及具有衬底运送机构的装载室，其中所述衬底运送机构从配置在比所述探测检查室靠上的位置的收纳容器中取出被检查衬底，在将被检查衬底下降到所述探测检查室的运入运出口的高度之后，在所述探测检查室的列的前方与该列平行地移动，并将从收纳容器取出的被检查衬底运送到所述探测检查室内；并且所述探测装置通过使探测卡的探测器与载置在所述探测检查室内所设置的载置台上的被检查衬底上的电极触点接触，来测定所述被检查衬底的被检查芯片的电特性，所述探测装置的特征在于，

在使所述衬底运送机构在所述探测检查室的列的前方与该列平行地移动的水平移动机构上设置有读取机构，所述读取机构用于读取被所述衬底运送机构支承的被检查衬底上所记录的信息。

2.如权利要求1所述的探测装置，其特征在于，

所述水平移动机构在所述探测检查室的列的前方具有与所述列平行地设置的轨道以及沿所述轨道移动并设置有所述衬底运送机构的基台移动部，所述读取机构被固定在所述基台移动部上。

3.如权利要求1所述的探测装置，其特征在于，

所述探测装置被构成为：在使所述衬底运送机构位于与向所述探测检查室的运入运出口运入被检查衬底或者从该运入运出口运出被检查衬底时的高度相同的高度的状态下，通过所述读取机构来读取被检查衬底上所记录的信息。

4.如权利要求1所述的探测装置，其特征在于，

所述探测装置被构成为：在通过所述衬底运送机构向所述探测检查室的运入运出口运入被检查衬底的步骤中途，通过所述读取机构来读取被检查衬底上所记录的信息。

5.如权利要求1所述的探测装置，其特征在于，

所述读取机构是读取被检查衬底上所记载的字符的光学字符读取机构。

6.一种探测装置，包括：设置有载置台的探测检查室；以及具有运送机构的装载室，其中所述运送机构将从收纳容器中取出的被检查衬底运送到所述探测检查室内的载置台上；并且所述探测装置通过使探测卡的探测器与载置在所述载置台上的被检查衬底上的电极触点接触，来测定所述被检查衬底的被检查芯片的电特性，所述探测装置的特征在于，

在所述探测检查室的壳体的侧壁上设置有从前面绕至侧面侧开口的具有弯折或弯曲的形状的运入运出口。

7.如权利要求6所述的探测装置，其特征在于，

设置有闸门部件，所述闸门部件具有与所述运入运出口相同地弯折或弯曲的形状，用于打开或关闭所述运入运出口。

8.如权利要求7所述的探测装置，其特征在于，

所述闸门部件通过作动筒而被打开或关闭。

9.如权利要求6所述的探测装置，其特征在于，

所述壳体被形成为在所述壳体的所述侧壁的前面和侧面的连接部存在角部的形状，所述角部以对所述连接部进行倒角的方式连接所述前面和所述侧面，所述运入运出口形成为从所述壳体的前面到所述角部开口。

10.一种衬底运送方法，是探测装置中的衬底运送方法，所述探测装置包括：配置在直线上的偶数台的探测检查室；以及具有运送机构的装载室，其中所述运送机构在所述探测检查室的列的前方与该列平行地移动，并将从收纳容器取出的被检查衬底运送到所述探测检查室内；并且所述探测装置通过使探测卡的探测器与载置在所述探测检查室内所设置的载置台上的被检查衬底上的电极触点接触，来测定所述被检查衬底的被检查芯片的电特性，所述衬底运送方法的特征在于，

使所述运送机构移动，并使所述运送机构停止在相邻的两个所述探测检查室的大致中央的正面位置，通过所述运送机构向两个所述探测检查室运入被检查衬底或者从两个所述探测检查室运出被检查衬底。

11.如权利要求10所述的衬底运送方法，其特征在于，

设置有衬底运入运出口，所述衬底运入运出口在相邻的两个所述探测检查室的壳体的前面侧壁的彼此接近的位置处开口，

经由所述衬底运入运出口运入或运出被检查衬底。

12.如权利要求10所述的衬底运送方法，其特征在于，

在相邻的两个所述探测检查室的壳体的侧壁的彼此接近的位置处设置运入运出口，所述运入运出口从前面侧绕到侧面侧开口，并具有弯折或弯曲的形状，

经由所述运入运出口运入或运出被检查衬底。

13.如权利要求11所述的衬底运送方法，其特征在于，

设置用于打开或关闭所述运入运出口的闸门部件，除运入或运出被检查衬底的时候之外，通过闸门部件关闭所述运入运出口。