[发明专利]探测装置以及衬底运送方法

说明书

相关申请的参考

本申请以2009年11月17日提出的日本专利申请2009-262082号、2009年11月6日提出的日本专利申请2009-255159号以及2009年11月6日提出的日本专利申请2009-255158为基础，并将它们的全部内容作为参考引用于此。

技术领域

本发明涉及探测装置以及探测装置中的衬底运送方法。

背景技术

以往，探测装置进行通过将探测卡的探针等探测器接触到半导体芯片的电极触点来检查电特性的探测测试。该探测装置包括：探测检查室，具有探测卡和载置台；以及装载室，设置有容纳晶片承载器(FOUP)的装载端口以及在探测检查室之间运送晶片的衬底运送机构。

并且，衬底运送机构从运入到装载端口内的晶片承载器中取出晶片，在通过装载室内的预校准机构或者设置在衬底运送机构上的预校准机构进行预校准之后，将该晶片运送到探测检查室内的载置台上。另外，还已知有在装载室内设置有读取机构(例如，光学字符读取机构(OCR机构))的探测装置：该读取机构光学地读取记录在由衬底运送机构支承的晶片上的信息、例如条形码或字符。

另外，还已知有对于装载室设置有多个探测检查室的探测装置。在这样的探测装置中，从减小洁净室内的运送机器人的运送高度以及占地面积的观点出发如图9所示那样构成，即：将FOUP(晶片承载器)20配置在比探测检查室21高的位置处，通过设置在装载室1内的衬底运送机构3将从FOUP 20取出的晶片下降到探测检查室21的运入运出口23的高度，之后沿水平方向运送晶片并经由各运入运出口23运入到探测检查室21内或从探测检查室21内运出。另外，在这样的探测装置的情况下，OCR机构60被设置在FOUP 20的载置部的下侧。

在该探测装置中，如图9中箭头所示，当向探测检查室21运入从FOUP 20取出的晶片运入时，首先使衬底运送机构3下降到OCR机构60的高度位置(图中的箭头A)，并使衬底运送机构3暂且向OCR机构60侧沿水平方向移动(图中的箭头B)。然后，通过OCR机构60来读取记录在晶片上的字符，之后再使衬底运送机构3返回到原来的水平位置(图中的箭头C)，并将衬底运送机构3再次下降到探测检查室21的运入运出口23的高度(图中的箭头D)。之后，将晶片水平运送到预定的探测检查室21的运入运出口23的前面(图中的箭头E)。

作为衬底运送机构，例如使用包括两个作为衬底支承部件的臂体的机构，在于探测检查室内进行晶片探测测试的期间，通过一个臂体取出接下来要进行检查的晶片，进行预校准，一旦探测检查室内的晶片的检查结束，就通过另一个臂体接收检查完的晶片，并将由一个臂体支承的未检查的晶片运送到载置台上。

另一方面，衬底运送机构的臂上所保持的晶片通过设置在探测检查室的正面的运入运出口被运送到位于探测检查室内的载置台。此时，衬底运送机构需要设置在各探测检查室的正面位置处。

另一方面，已知有包括一个衬底运送机构以及多个探测检查室的探测装置(例如，专利文献2)。在这样的探测装置中，衬底运送机构可在轨道上左右移动，轨道被设置在配置于直线上的多个探测检查室的前方。如图10所示，当向各探测检查室21运送晶片时，需要使衬底运送机构3移动到各探测检查室21的衬底运入运出口23的正面位置。在图10中，标号35、36是衬底运送机构3中用于支承晶片的第一、第二臂体。

专利文献1：日本专利文献特开2007-329458号公报；

专利文献2：日本专利文献特开平3-289152号公报。

上述的探测装置被要求进一步提高吞吐量(throughput)，以能够高效地进行被检查衬底的检查。另外，在上述的探测装置中，被要求进一步减小占地面积，以减小洁净室内的占用面积。另外，还被要求将探测检查室内的气氛维持洁净，以便可在洁净气氛下进行被检查衬底的检查。

发明内容

本发明就是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够提高吞吐量从而能够高效地进行被检查衬底的检查的探测装置。另外，本发明的目的在于提供一种能够减小占地面积的探测装置。另外，本发明的目的在于提供一种能够将探测检查室内的气氛维持洁净的探测装置。另外，本发明的目的在于提供一种衬底运送方法，该方法在包括多个探测检查室和在探测检查室的前方左右平行移动的运送机构的探测装置中能够提高衬底运送时的吞吐量，并能够使得装载室小型化。