[发明专利]微机电系统麦克风无效
| 申请号： | 201010538712.0 | 申请日： | 2010-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN101984679A | 公开（公告）日： | 2011-03-09 |
| 发明（设计）人： | 张睿;葛州;颜毅林;杨斌 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声光电科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 系统 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种微机电系统麦克风，包括背板和与所述背板相对设置的振膜，所述背板和所述振膜均为导电材料制成，其特征在于：所述背板与所述振膜相对的一面上附有一层完全覆盖该面的绝缘膜，所述绝缘膜上设有若干向所述振膜方向凸出的绝缘块。
2.根据权力要求1所述的微机电系统麦克风，其特征在于：所述绝缘块采用多晶硅材料制成。
3.根据权力要求2所述的微机电系统麦克风，其特征在于：所述绝缘块为半球体形。
4.根据权利要求3所述的微机电系统麦克风，其特征在于：所述结构层为采用Si或SiO2或Si3O4或多晶硅材料掺杂金属材料制成的导体。
5.根据权利要求4所述的微机电系统麦克风，其特征在于：所述背板设有两层，依次为抗腐蚀层和结构层，所述结构层与所述振膜相邻。
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