[发明专利]玻璃制品及其制作方法

权利要求书

1.一种玻璃制品的制作方法，包括以下步骤：

提供一玻璃基体，对玻璃基体表面进行超声波清洗；

玻璃基体进行贴附感光干膜与遮蔽膜、然后曝光显影以在玻璃基体上形成待加工的图案区域；

对玻璃基体上图案区域进行反应离子蚀刻以形成凹槽；

将玻璃基体进行清洗以去除凹槽内的残留物；

对凹槽进行烤漆从而在凹槽处形成图案；

用退镀药水清洗残余在基体表面的感光干膜及遮蔽膜形成一具内嵌图案的玻璃制品。

2.如权利要求1所述的玻璃制品的制作方法，其特征在于：所述超声波清洗过程包括采用无水乙醇或丙酮对基体进行超声波清洗。

3.如权利要求1所述的玻璃制品的制作方法，其特征在于：所述形成待加工的图案区域的过程包括：将感光干膜曝利用热压贴膜机贴覆玻璃基体表面，将遮蔽膜贴附于感光干膜表面，使感光干膜表面仅露出需曝光的区域，该露出的区域与所述图案区域对应，将所述露出的区域曝光并清洗。

4.如权利要求1所述的玻璃制品的制作方法，其特征在于：所述对图案区域进行蚀刻的方式为气体蚀刻。

5.如权利要求4所述的玻璃制品的制作方法，其特征在于：所述气体蚀刻包括提供一蚀刻机，蚀刻机腔体压强保持在5Pa左右，射频功率为400w，反应腔体温度为40℃，基体表面温度为5℃。

6.如权利要求5所述的玻璃制品的制作方法，其特征在于：所述蚀刻机中冲入的蚀刻气体为CF₄或NF₃。

7.如权利要求1所述的玻璃制品的制作方法，其特征在于：所述对凹槽进行烤漆过程包括调制涂料，通过离心力静电雾化设备将涂料喷涂于凹槽，喷涂后检测并补漆，然后将基体进行烘烤。

8.如权利要求7所述的玻璃制品的制造方法，其特征在于：所述烘烤温度在80～150℃之间。

9.一种权利要求1至8任意一项所述的制作方法制作的玻璃制品，包括一玻璃基体，其特征在于：所述玻璃基体表面形成有至少一凹槽，所述至少一凹槽整体排布形成一图案，每一所述凹槽内对应地填充有涂料，以于该玻璃基体上形成图案层。

10.如权利要求9所述的玻璃制品，其特征在于：每一所述凹槽的宽度尺寸在1～2mm，凹槽的深度在200～800nm，且宽度的尺寸精度在0.01mm内。

11.如权利要求9所述的玻璃制品，其特征在于：所述玻璃制品为一电子装置的视窗，对应地形成在每一所述凹槽内图案层的宽度尺寸在1～2mm，深度在200～800nm，且宽度的尺寸精度在0.01mm内。