[发明专利]镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，其包括一个镀膜伞架，所述镀膜伞架具有多个容置通孔，所述多个容置通孔用于容置待镀工件，其特征在于，所述镀膜装置还包括：一个镀膜伞架遮罩及一个过滤板；所述镀膜伞架遮罩用于自该镀膜伞架顶部罩住该镀膜伞架；所述过滤板安装于该镀膜伞架底部，所述过滤板上形成有多个过滤孔，所述过滤孔用于透过气态或离子态的蒸镀材料，并阻挡杂质。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜伞架遮罩包括一个第一罩体，所述第一罩体用于直接罩在该镀膜伞架上，其包括一个中空伞状支架，所述伞状支架包括多个支撑轴，所述每个支撑轴的内侧设置有多个遮挡片，所述多个遮挡片与所述镀膜伞架的容置通孔相对应。

3.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜伞架遮罩还包括一个第二罩体，所述第二罩体用于罩住第一罩体，且所述第二罩体在所述镀膜伞架底部至顶部方向上的高度不小于所述第一罩体在该方向上的高度。

4.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述多个遮挡片的形状设置与所述镀膜伞架的容置通孔的形状相同。

5.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述多个遮挡片大小相同且对称分布于所述第一罩体上。

6.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述每一个遮挡片为通过连接轴而悬挂于相应的支撑轴的内侧，且每个遮挡片的连接轴可活动地与相应的支撑轴连接。

7.如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一罩体、第二罩体与所述镀膜伞架的底面直径相当。

8.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述过滤孔的孔径为15～20毫米。

9.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜伞架遮罩及过滤板的材料为铜、铝或不锈钢。