[发明专利]一种涂覆方法无效
| 申请号： | 201010563738.0 | 申请日： | 2010-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102476092A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 胡明玮;黄苒;杜寰;韩郑生;林斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B05D1/26 | 分类号： | B05D1/26;B05C5/00;B05C13/02;G02F1/1339 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种涂覆方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）将衬垫珠放入易挥发的有机溶剂中，形成悬浊液；
（2）将悬浊液放入超声波清洗机中，使用超声波分散衬垫珠；
（3）使用磁力搅拌机对悬浊液进行充分搅拌；
（4）使用匀胶机旋转表面滴定悬浊液的LCoS晶圆，在LCoS晶圆表面形成一层溶液膜；
（5）LCoS晶圆表面溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成了将衬垫珠涂覆在LCoS晶圆表面的过程。
2.如权利要求1所述的涂覆方法，其特征在于：所述有机溶剂为二氯甲烷或异丙醇。
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