[发明专利]一种涂覆方法

说明书

技术领域

 本发明属于硅基液晶（LCoS）微显示器件制造的技术领域，具体涉及一种应用于LCoS液晶盒制作的涂覆方法。

背景技术

硅基液晶（LCoS）微显示是一种新型的反射式液晶微显示技术。它利用CMOS技术将有源矩阵制作在硅衬底上，而顶面被用作反射层。显示面板通过在LCoS晶圆顶面盖装ITO玻璃，灌装液晶制成。

在LCoS液晶盒的制作过程中，为了精确控制盒厚以及起到支撑作用，要用到衬垫带或者衬垫珠（Spacer），而盒厚在10μm以下多用衬垫珠（Spacer）。由于盒厚度较小，为了得到均匀的间隙尺寸，需要采用尺寸很小的玻璃球作为衬垫珠。一般通用的LCoS液晶盒衬垫珠（Spacer）的涂覆方法为溶液喷洒的方法，由于衬垫珠尺寸较小，在LCoS晶圆表面涂覆时，易出现衬垫珠分布不均匀以及若干个衬垫珠堆叠现象。显示器件的彩色800×600分辨率使得每个像素点大小也为微米量级，因此会影响器件发光性能，严重时会导致液晶盒厚度不均匀，并由此产生真空气泡等更严重的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种涂覆方法，使衬垫珠可以均匀的涂覆在LCoS晶圆的表面。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案为：

一种涂覆方法，包括如下步骤：

（1）将衬垫珠放入易挥发的有机溶剂中，形成悬浊液；

（2）将悬浊液放入超声波清洗机中，使用超声波分散衬垫珠；

（3）使用磁力搅拌机对悬浊液进行充分搅拌；

（4）使用匀胶机旋转表面滴定悬浊液的LCoS晶圆，在LCoS晶圆表面形成一层溶液膜；

（5）LCoS晶圆表面溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成了将衬垫珠涂覆在LCoS晶圆表面的过程。

上述方案中，所述有机溶剂为二氯甲烷或异丙醇。

与现有技术相比，本发明采用的技术方案所产生的有益效果如下：

本发明采用的涂覆方法使衬垫珠分散的更均匀，同时密度更低，使器件发光性能得到显著提高。

具体实施方式

下面通过实施例对本发明技术方案进行详细描述。

实施例1：

本发明实施例提供一种涂覆方法，步骤如下：

采用3.00±0.02μm 的玻璃球作为衬垫珠（Spacer），将衬垫珠放入二氯甲烷溶液中，形成悬浊液；然后将悬浊液放入超声波清洗机中片刻，利用超声波使衬垫珠一一分散开，接着再将悬浊液放在磁力搅拌机上进行充分搅拌；将用丙酮清洗后的LCoS晶圆置于匀胶机旋转台上，开启气泵固定后，用橡胶吸管吸取适量的衬垫珠悬浊液滴在LCoS晶圆表面，在匀胶机旋转台面带动LCoS晶圆高速旋转下，将在LCoS晶圆表面形成一层极薄的溶液膜，衬垫珠（Spacer）得到了较理想的散布，待LCoS晶圆表面的溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成将衬垫珠涂覆在LCoS晶圆表面的过程。

实施例2：

本发明实施例提供一种涂覆方法，步骤如下：

采用3.00±0.02μm 的玻璃球作为衬垫珠（Spacer），衬垫珠放入异丙醇溶液中，形成悬浊液；然后将悬浊液放入超声波清洗机中片刻，利用超声波使衬垫珠一一分散开，接着再将悬浊液放在磁力搅拌机上进行充分搅拌；将用丙酮清洗后的LCoS晶圆置于匀胶机旋转台上，开启气泵固定后，用橡胶吸管吸取适量的衬垫珠悬浊液滴在LCoS晶圆表面，在匀胶机旋转台面带动LCoS晶圆高速旋转下，将在LCoS晶圆表面形成一层极薄的溶液膜，衬垫珠（Spacer）得到了较理想的散布，待LCoS晶圆表面的溶液膜中的有机溶剂挥发后，即完成将衬垫珠涂覆在LCoS晶圆表面的过程。

使用本发明提供的涂覆方法，可以使得衬垫珠均匀的涂覆在LCoS晶圆表面，粘连现象大幅度减少，衬垫珠密度的控制也较为理想，约为360个/mm²。因此，使用此涂覆方法制备的器件，发光性能得到显著提高。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。