[发明专利]基板搬送设备

权利要求书

1.一种基板搬送设备，其包括：

容器搬送装置，其用于将容器搬送至基板移载用的支承台，所述容器具有能够以基板沿上下方向隔开间隔地排列的状态收纳多张基板的空间；以及

基板移载装置，其相对于载置支承于所述支承台的所述容器，通过形成于所述容器的侧部的出入口移载基板，以便取出基板和收纳基板，其特征在于，

所述容器构成为具有：容器主体，其具有所述出入口和所述空间；以及载置支承部件，其能够载置支承所述容器主体，并且具有在载置支承有所述容器主体的状态下向所述空间送出清洁空气的风机过滤机组，

所述容器搬送装置构成为：以使载置支承有所述容器主体的所述载置支承部件相对于所述支承台从上方载置支承的方式，将所述容器搬送到所述支承台，

所述基板搬送设备具有位置调整机构，该位置调整机构通过在所述容器载置支承于所述支承台的状态下与所述容器主体直接抵接，来将所述容器主体在水平方向的位置调整到用于由所述基板移载装置移载基板的基板移载用位置。

2.根据权利要求1所述的基板搬送设备，其特征在于，

所述位置调整机构构成为具有：多个嵌合体，其以从所述支承台向上方突出的状态设置于所述支承台；被嵌合部，其设置于所述容器主体并向上方凹入；倾斜面部，其设置于所述容器主体中的所述被嵌合部的周围，用于将所述嵌合体引导到所述被嵌合部；以及升降操作机构，其使所述容器主体和所述嵌合体相对地进行升降移动，以便切换到所述嵌合体与所述被嵌合部嵌合的嵌合状态以及使所述嵌合体从所述被嵌合部向下方离开的离开状态。

3.根据权利要求2所述的基板搬送设备，其特征在于，

所述嵌合体以固定状态设置于所述支承台，

所述容器搬送装置兼用作所述升降操作机构。

4.根据权利要求2或3所述的基板搬送设备，其特征在于，

在所述载置支承部件上以从该载置支承部件向上方突出的状态设置有多个卡合体，

在所述容器主体上设置有多个被卡合部，所述被卡合部形成为向上方凹入的形状，并且在由所述载置支承部件载置支承所述容器主体的状态下与所述卡合体卡合，

所述多个嵌合体分别构成为：随着利用所述升降操作机构从所述离开状态切换到所述嵌合状态，而在承接支承所述被嵌合部的状态下将所述容器主体相对于所述载置支承部件抬起，并且在所述嵌合状态下，以所述卡合体比所述被卡合部向下方离开的状态支承所述容器主体。