[发明专利]基板搬送设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板搬送设备，其具有容器搬送装置和基板移载装置，所述容器搬送装置用于将容器搬送到基板移载用的支承台，所述容器具有能够以基板沿上下方向隔开间隔地排列的状态收纳多张基板的空间，所述基板移载装置用于相对于载置支承在支承台上的容器，通过形成于容器侧部的出入口移载基板以便取出基板以及收纳基板。

背景技术

这样的基板搬送设备在搬送用于液晶显示器或等离子显示器的玻璃基板等基板的时候被使用。基板搬送设备构成为：在利用容器搬送装置将收纳有多张基板的基板用收纳容器搬送到支承台之后，利用基板移载装置从载置支承于支承台的基板用收纳容器取出基板，或者利用基板移载装置将基板收纳到载置支承于支承台的基板用收纳容器中，然后，利用容器搬送装置将收纳有多张基板的基板用收纳容器搬离支承台，从而对基板进行搬送。并且，在将玻璃基板等要求高清洁度的基板收纳到基板用收纳容器中的情况下，使用了这样的局部清洁技术：设置向基板收纳空间中供给清洁空气的风机过滤机组(FFU)，从而比外部提高了基板用收纳容器的内部的基板收纳空间的清洁度。

这样的基板用收纳容器的现有示例记载于日本特开2008-094494号公报中。记载于日本特开2008-094494号公报的基板用收纳容器由以下部分构成：形成有出入口和基板收纳空间的容器主体；装配有开闭出入口的盖的盖用框体；以及装配有向基板收纳空间供给清洁空气的风机过滤机组的FFU用框体。另外，在容器主体的形成出入口的一端侧以能分离的方式安装有盖用框体，在容器主体的另一端侧以能分离的方式安装有FFU用框体。并且，在该现有示例中，支承台构成为以对形成基板用收纳容器的底部的容器主体进行载置支承的方式对基板用收纳容器进行载置支承。容器搬送装置构成为：以使容器主体相对于支承台从上方载置支承的方式将基板用收纳容器搬送到支承台。

另外，一般在基板搬送设备中，为了提高基板用收纳容器的收纳效率，将基板以基板之间的间隔很窄的状态收纳到容器主体中。另外，玻璃基板等基板容易因与其他物品接触而破损。因此，将基板用收纳容器移动到设定位置时的位置调整要求很高的精度。因此，在日本特开2008-094494号公报的基板搬送设备中设置有定心装置，该定心装置通过在将基板用收纳容器载置支承于支承台的状态下与基板用收纳容器抵接，来将基板用收纳容器在水平方向的位置调整到用于由基板移载装置移载基板的设定位置。

详细来说，日本特开2008-094494号公报的定心装置构成为：通过与俯视呈矩形形状的基板用收纳容器的下端部的四个角抵接，来调整基板用收纳容器在水平方向的位置，由此将基板用收纳容器调整到设定位置。具体来说，盖用框体或者FFU用框体位于基板用收纳容器的下端部的四个角。另外，定心装置构成为：通过与FFU用框体或者盖用框体的下端部抵接来调整基板用收纳容器在水平方向的位置，由此使基板用收纳容器位于设定位置。

专利文献1：日本特开2008-094494号公报

作为使容器主体能够分离的基板用收纳容器，本申请的申请人在日本特愿2009-244754号中提出了一种基板用收纳容器，该基板用收纳容器由以下部分构成：形成有出入口和基板收纳空间的容器主体；以及载置支承该容器主体并且装配有风机过滤机组的载置支承体。该基板用收纳容器通过载置支承部件来形成基板用收纳容器的底部，容器主体相对于载置支承部件能够向上方分离，而且在使容器主体分离时，载置支承部件不易翻到，容易使容器主体的分离自动化。

由容器主体和载置支承部件构成的基板用收纳容器在水平方向的位置可以考虑利用日本特开2008-094494号公报中的定心装置来进行调节，但是，定心装置是通过与基板用收纳容器的下端部的四个角抵接来调整基板用收纳容器在水平方向的位置，由于载置支承部件的四个角位于该基板用收纳容器的下端部的四个角，因此变成使定心装置与载置支承部件的四个角抵接来将基板用收纳容器的位置调整到设定位置。

但是，在由容器主体和载置支承部件构成基板用收纳容器的结构中，有时容器主体会由于搬送过程中的振动等而相对于载置支承部件在水平方向偏移。因此，即使为了将基板用收纳容器调节到设定位置而将载置支承部件调整到适当的位置，如果在载置支承部件与容器主体之间在水平方向产生偏移，则容器主体的位置也会从基板移载装置移载基板时的基板移载用位置在水平方向产生偏移。

而且，若在容器主体的位置从基板移载用位置沿水平方向偏移了的状态下利用基板移载装置来移载基板，则在取出收纳在容器主体中的基板的时候，基板移载装置相对于作为取出对象的基板的位置偏移，从而可能无法准确地进行基板移载装置对基板的移载。

发明内容