[发明专利]导电性球的搭载装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种导电性球的搭载装置，使用与在被搭载物上以规定的图案形成的搭载部位一致地设置有贯通孔的排列掩模，并将导电性球搭载于被搭载物的搭载部位。

背景技术

目前，如在专利文献1中记载的那样，在具备内部具有球吸附体的球座的导电性球的搭载装置中，在球直径及掩模配置等相同的搭载条件下使装置运转时，对一个基板的导电性球的搭载结束后，通过使吸引状态的球座沿球排列掩模上面移动，将从球座漏出并散落在掩模上的导电性球除去(专利文献第1项0024)。为了防止搭载动作及移动时的咬入，在球座和掩模之间存在球直径以上的间隙，因此必须施加所述除去动作。

除去动作后，直至输送作为下一个搭载对象的基板而开始搭载动作的期间，球座在维持吸引状态下在排列掩模上的规定位置待机。但是，在搭载的导电性球的直径改变的情况下，需要在其它的位置回收球座除去了的导电性球。另外，在由于排列图案的变更而更换掩模时，从装置的运营成本等问题来看，也优选解除球座的吸引状态，在该情况中也需要回收导电性球。

在这种情况下，导电性球搭载装置的使用者从装置外部将托盘等向移动至规定位置的球座的下方伸出后，解除吸引状态，由此回收导电性球。但是，这种作业不仅增加使用者的负担，而且存在由于手头慌乱而将导电性球散落在装置内部的问题。

另外，目前，导电性球的搭载装置的如上所述的导电性球的除去及回收中，公开了例如如专利文献3所示另外设置有回收单元的装置、如专利文献2所示通过吹风从漏斗排出导电性球，并用托盘接住散落的导电性球的装置。但是，在对回收了的导电性球进行再利用时，必须设置导电性球的循环机构，因此存在有关装置成本上升的问题。

专利文献1：(日本)特开2008-153336号公开专利公报

专利文献2：(日本)特开平11-312699号公开专利公报

专利文献3：专利第4130526号专利公报

发明内容

本发明为解决上述问题点，提供一种导电性球的搭载装置，设置在除去单元的可移动范围内贮存导电性球的球贮存单元，能够将球搭载单元吸附保持的导电性球向球贮存单元回收，或者从球贮存单元向球搭载单元供给导电性球，容易进行导电性球的回收及供给。

另外，本发明提供的导电性球的搭载装置，将除去单元除去了的导电性球回收到球贮存单元，能够容易地进行球直径变更及掩模更换等换批调整时的导电性球的回收，从而能够提高换批调整作业的效率。

此外，本发明提供一种导电性球的搭载装置，通过兼用作导电性球的除去单元和球搭载单元来实现装置的简单化，并且通过将回收了的导电性球再次从球贮存单元向球搭载单元供给，能够进行导电性球的再利用。

第一发明为了解决上述问题采用下面的单元。

提供一种导电性球的搭载装置，其特征在于，

第一，具备：排列掩模，与在被搭载物上以规定的图案形成的搭载部位一致地设置有贯通孔；及球搭载单元，设置为可在所述排列掩模上方移动，并将导电性球供给到该排列掩模上。

第二，使所述球搭载单元位于所述排列掩模上方，将所述球搭载单元保持的导电性球供给到所述排列掩模上，由此经由所述排列掩模的贯通孔搭载于被搭载物的搭载部位。

第三，设置有：除去单元，设置为可在所述排列掩模上方移动，将由所述球搭载单元供给到所述排列掩模的导电性球中残留在该排列掩模上的导电性球吸附于罩壳的下表面所设置的球吸附体而从该排列掩模上除去所述导电性球，所述罩壳与真空源连接；除去单元的移动单元，使所述除去单元能够在所述排列掩模上方移动；及球贮存单元，在该移动单元的可移动的范围内贮存导电性球。

第四，使所述除去单元移动到所述球贮存单元上，使所述除去单元除去的导电性球下落，由此回收该导电性球。

第二发明的导电性球的搭载装置，其在第一发明的基础上附加下面的单元。通过在所述排列掩模上解除所述罩壳和真空源的连接，使吸附在所述球吸附体上的所述导电性球下落至所述排列掩模而使导电性球搭载于所述被搭载物上的搭载部位，由此将所述除去单元兼用作球搭载单元。

第三发明的导电性球的搭载装置，其在第一或第二发明的基础上，对所述球搭载单元附加如下功能，对于所述球搭载单元，通过在所述球贮存单元上使所述罩壳和真空源连接，使导电性球吸附于所述球搭载单元而供给导电性球。