[发明专利]多层结构的微部件及固化的SU8光刻胶薄片的加工方法

权利要求书

1.一种固化的SU8光刻胶薄片的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

A.在涂有AZ4620光刻胶的硅片上面涂腊；

B.在涂腊的硅片上覆盖铝箔；

C.在覆盖铝箔的硅片上匀液态的SU8光刻胶，并烘胶；

D.取下硅片；

E.揭下铝箔，得到固化的SU8光刻胶薄片。

2.一种多层结构的微部件的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)在金属种子层的基底上匀胶、烘胶；

(b)对烘干的胶进行紫外线曝光；

(c)对曝光的光刻胶进行后烘、显影；

(d)粘贴固化的SU8光刻胶薄片；

(e)对(d)中的固化的SU8光刻胶薄片进行曝光；

(f)对(e)中的固化的SU8光刻胶薄片进行后烘、显影；

(g)溅射金属导电层；

(h)粘贴固化的SU8光刻胶薄片；

(i)对(h)中的固化的SU8光刻胶薄片进行曝光；

(j)对(i)中的固化的SU8光刻胶薄片进行后烘、显影；

(k)电铸。

3.根据权利要求2所述的多层结构的微部件的加工方法，其特征在于，通过重复所述(d)、(e)、(f)、(g)步骤1次至5次，能够获得第四层至第八层微部件。