[发明专利]有机发光显示装置、其制造方法及表面处理设备

权利要求书

1.一种制造有机发光显示装置的方法，该方法包括：

在基板上形成第一电极；

在所述第一电极上形成具有第一开口的像素限定层，所述第一开口使所述第一电极的预定部分露出；

在所述像素限定层和通过所述第一开口露出的所述第一电极上形成电荷承载层；

用激光和反应气选择性地对所述电荷承载层的表面的第一部分进行疏水处理，其中所述第一部分不对应于所述开口；

在所述电荷承载层上形成有机发射层；并且

形成第二电极以与所述有机发射层电连接。

2.根据权利要求1所述的制造有机发光显示装置的方法，其中所述有机发射层形成在所述电荷承载层上以对应于所述第一开口。

3.根据权利要求1所述的制造有机发光显示装置的方法，其中所述电荷承载层包括空穴传输层和空穴注入层中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的制造有机发光显示装置的方法，其中所述反应气是氟化物气体。

5.根据权利要求4所述的制造有机发光显示装置的方法，其中所述氟化物气体包括CF₄。

6.根据权利要求1所述的制造有机发光显示装置的方法，其中对所述电荷承载层的表面的第一部分进进行疏水处理的步骤包括：将由紫外线激光源生成的激光束辐射到所述电荷承载层上，其中所述激光束被穿过衍射光学元件透镜、准直透镜以及投影透镜。

7.根据权利要求6所述的制造有机发光显示装置的方法，在对所述电荷承载层的表面的第一部分进行疏水处理的步骤中，引导镜被用来沿期望的方向引导所述激光束。

8.根据权利要求1所述的制造有机发光显示装置的方法，其中对所述电荷承载层的表面的第一部分进行疏水处理的步骤包括：通过多角镜将由具有紫外激光源的光学系统生成的激光束辐射到所述电荷承载层上。

9.根据权利要求8所述的制造有机发光显示装置的方法，其中对所述电荷承载层的表面的第一部分进行疏水处理的步骤由通过在同时由所述光学系统连续生成所述激光束的同时使所述多角镜旋转的方式来执行。

10.根据权利要求8所述的制造有机发光显示装置的方法，其中对所述电荷承载层的表面的第一部分进行疏水处理的步骤通过随着所述多角镜的旋转以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描所述激光束的方式来执行。

11.根据权利要求8所述的制造有机发光显示装置的方法，其中对所述电荷承载层的表面的第一部分进行疏水处理的步骤包括：以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描所述激光束，而后沿与所述带的方向垂直的方向移动所述多角镜和所述基板或所述多角镜和所述光学系统。

12.根据权利要求11所述的制造有机发光显示装置的方法，其中所述基板利用一平台沿与所述带的方向垂直的方向移动。

13.根据权利要求1所述的制造有机发光显示装置的方法，其中所述有机发射层的形成利用喷嘴打印方法来执行。

14.一种利用根据权利要求1-13中任一项所述的方法制造的发光显示装置。

15.一种用于有机发光显示装置的表面处理设备，用于处理所述有机发光显示装置的表面，该有机发光显示装置包括基板、形成在所述基板上的第一电极、形成在所述第一电极上的电荷承载层、形成在所述电荷承载层上的有机发射层以及电连接到所述有机发射层的第二电极，所述表面处理设备包括：

包括紫外激光源的光学系统；以及

多角镜，由所述光学系统生成的激光束到达所述多角镜。

16.根据权利要求15所述的表面处理设备，其中当所述光学系统在氟化物气体的环境中连续生成所述激光束时，所述多角镜旋转。

17.根据权利要求15所述的表面处理设备，其中所述激光束随着所述多角镜的旋转以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描。

18.根据权利要求15所述的表面处理设备，其中所述激光束以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描，并且而后所述基板或所述表面处理设备沿与所述带的方向垂直的方向移动。

19.根据权利要求18所述的表面处理设备，其中所述基板利用平台沿与所述带的方向垂直的方向移动。