[发明专利]有机发光显示装置、其制造方法及表面处理设备

说明书

相关应用的交叉引用

本申请要求2009年11月27日向韩国知识产权局提交的申请号为10-2009-0115921的韩国专利申请的权益，其公开内容通过引用整体合并于此。

技术领域

当前的实施例涉及可以容易地形成有机发射层的制造有机发光显示装置的方法、用于有机发光显示装置的表面处理设备以及有机发光显示装置。

背景技术

便携式薄膜型平板显示设备已经被广泛使用。在平板显示装置中，电致发光显示装置是视角宽、对比度高和响应时间短的自发射型显示装置。因此，电致发光显示装置已经作为下一代显示装置而引人关注。同样，有机发光显示装置包括由有机化合物形成的发射层，并且具有好的亮度和驱动电压以及短的响应时间，并且与无机发光显示装置相比，能够形成多彩图像。

有机发光显示装置包括阴极、阳极和有机发射层。当电压施加给阳极和阴极时，有机发光层发出可见光线。

有机发光显示设备包括用于实现红色、绿色和蓝色可见光线的子像素以便实现自然色屏幕。有机发射层形成在红色子像素中以发射红色可见光线，有机发射层形成在绿色子像素中以发射绿色可见光线，并且有机发射层形成在蓝色子像素中以形成蓝色可见线。

如果有机发射层没有形成在期望的相应子像素中，而是形成在其它子像素中，则这些有机发射层发射混合颜色的可见光线，从而降低了有机发光显示装置的图像质量。

当利用喷嘴打印方法(其中使用喷嘴使溶液滴落)形成有机发射层时，这种问题可能会发生，从而难于提高有机发光显示装置的图片质量。当前的实施例克服了上述问题，还提供了其它优点。

发明内容

当前的实施例提供了可以容易地形成有机发射层的制造有机发光显示装置的方法，还提供了用于有机发光显示装置的表面处理设备以及有机发光显示装置。

根据当前实施例的一方面，提供了一种制造有机发光显示装置的方法，该方法包括：在基板上形成第一电极；在所述第一电极上形成具有开口的像素限定层，所述开口使所述第一电极的预定部分露出；在所述像素限定层和通过所述第一开口露出的所述第一电极上形成电荷承载层；用激光选择性地对所述电荷承载层的表面的部分进行疏水处理，其中所述部分不对应于所述开口；在所述电荷承载层上形成有机发射层；以及形成第二电极以与所述有机发射层电连接。

所述有机发射层可以形成在所述电荷承载层上以对应于所述开口。

所述电荷承载层可以是空穴传输层和空穴注入层。

疏水处理可以在氟化物气体的环境中来执行。

所述氟化物气体可以包括CF₄。

疏水处理可以包括将由紫外激光源生成的激光束辐射到所述电荷承载层上，其中所述激光束穿过衍射光学元件(DOE)透镜、准直透镜以及投影透镜。

在疏水处理时，引导镜可以被用来沿期望的方向引导所述激光束。

疏水处理可以包括通过多角镜将由具有紫外激光源的光学系统生成的激光束辐射到所述电荷承载层上。

疏水处理可以采用在由所述光学系统连续生成所述激光束的同时使所述多角镜旋转的方式来执行。

疏水处理可以采用随着所述多角镜的旋转以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描所述激光束的方式来执行。

疏水处理可以包括：以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描所述激光束，而后沿与所述带的方向垂直的方向移动所述多角镜和所述基板或所述多角镜和所述光学系统。

所述基板可以利用平台沿与所述带的方向垂直的方向移动。

所述有机发射层的形成利用喷嘴打印方法来执行。

根据本发明的当前实施例的另一方面，提供了一种用于有机发光显示装置的表面处理设备，用于对有机发光显示装置进行的表面进行处理，该有机发光显示装置包括基板、形成在所述基板上的第一电极、形成在所述第一电极上的电荷承载层、形成在所述电荷承载层上的有机发射层以及电连接到所述有机发射层的第二电极，所述表面处理装置包括：包括紫外激光源的光学系统；以及多角镜，由该光学系统生成的激光束到达该多角镜。

当由所述光学系统在氟化物气体的环境中连续生成所述激光束时，所述多角镜可以旋转。

所述激光束可以随着所述多角镜的旋转，以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描。

所述激光束可以以从所述基板的一端到所述基板的另一端的带的形式扫描，而后所述基板或所述表面处理设备可以沿与所述带的方向垂直的方向移动。

所述基板可以利用平台沿与所述带的方向垂直的方向移动。

根据当前的实施例的另一方面，提供了一种利用上述方法制造的有机发光显示装置。