[发明专利]具有标记导通柱的半导体装置

权利要求书

1.一种具有标记导通柱的半导体装置，包括：

一半导体基板，具有一正面及一背面；

数个原始导通柱，位于该半导体基板内，其中这些原始导通柱包括数个第一原始导通柱及数个第二原始导通柱，这些第一原始导通柱排列成一第一阵列，这些第二原始导通柱排列成一第二阵列，二相邻第一原始导通柱间的间距定义为一第一间距，二相邻第二原始导通柱间的间距定义为一第二间距；且

数个标记导通柱，位于该半导体基板内且显露于该背面，其中这些标记导通柱包括数个第一标记导通柱及数个第二标记导通柱，这些第一标记导通柱排列成一第一群组，这些第二标记导通柱排列成一第二群组，该第一群组位于靠近该第一阵列的位置，该第二群组位于靠近该第二阵列的位置，二相邻第一标记导通柱间的间距定义为一第三间距，最靠近这些第一标记导通柱的该第一原始导通柱及该第一标记导通柱间的间距定义为一第四间距，二相邻第二标记导通柱间的间距定义为一第五间距，最靠近这些第二标记导通柱的该第二原始导通柱及该第二标记导通柱间的间距定义为一第六间距，其中该第三间距不等于该第四间距，该第三间距及该第四间距皆不可被该第一间距整除，该第五间距不等于该第六间距，且该第五间距及该第六间距皆不可被该第二间距整除。

2.如权利要求1的半导体装置，其中该半导体装置为一半导体晶圆或一半导体芯片。

3.如权利要求1的半导体装置，其中这些原始导通柱为可导电的，且这些标记导通柱为不具功能的。

4.如权利要求1的半导体装置，其中这些原始导通柱及这些标记导通柱皆为可导电的。

5.如权利要求1的半导体装置，其中该第一群组位于靠近该第一阵列的一角落的位置。

6.如权利要求1的半导体装置，其中这些第一标记导通柱排列成至少一第一标记列，这些第一原始导通柱排列成至少一第一原始列，且该第一标记列及该第一原始列位于同一列。

7.如权利要求1的半导体装置，其中这些第一标记导通柱排列成至少一第一标记行，这些第一原始导通柱排列成至少一第一原始行，且该第一标记行及该第一原始行位于同一行。

8.一种具有标记导通柱的半导体装置，包括：

一半导体基板，具有一正面及一背面；

数个原始导通柱，位于该半导体基板内，其中这些原始导通柱排列成数个原始阵列，每一这些原始阵列具有一原始图案；且

数个标记导通柱，位于该半导体基板内及显露于该背面，其中这些标记导通柱包括数个第一标记导通柱及数个第二标记导通柱，这些第一标记导通柱排列成一第一图案以形成一第一群组，这些第二标记导通柱排列成一第二图案以形成一第二群组，该第一群组位于该背面的一第一角落，该第二群组位于该背面的一第二角落，该第一角落相对于该第二角落，且该第一图案及该第二图案皆不同于该原始图案。

9.如权利要求8的半导体装置，其中这些原始导通柱为可导电的，且这些标记导通柱为不具功能的。

10.如权利要求8的半导体装置，其中该第一图案为十字形图案或L形图案。