[发明专利]静电致动器

权利要求书

1.一种静电致动器，其特征在于，具备：

设置在基板上的电极部；

与所述电极部相对而设置的导电性的膜体部；

设置于所述导电性的膜体部的第1周边部的、支撑所述膜体部的多个第1加载部；以及

设置在与所述第1周边部相对的第2周边部的、支撑所述膜体部的多个第2加载部；并且

所述静电致动器构成为，通过对所述电极部设定预定值的电压，所述电极与所述导电性的膜体部接触或者脱离；

在所述多个第1加载部的各个之间以及在所述第2加载部的各个之间，其刚性相互不同。

2.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第1加载部的刚性，在该多个第1加载部的各个之间阶段性或者逐渐地变化。

3.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第2加载部的刚性，在该多个第2加载部的各个之间阶段性或者逐渐地变化。

4.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第1加载部的刚性，其设置于所述第1周边部的中央部侧的加载部的刚性这一方比设置于所述第1周边部的端部侧的加载部的刚性高。

5.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第2加载部的刚性，其设置于所述第2周边部的中央部侧的加载部的刚性这一方比设置于所述第2周边部的端部侧的加载部的刚性高。

6.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第1加载部的刚性，从所述第1周边部的一个端部向另一个端部阶段性或者逐渐地变化。

7.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第2加载部的刚性，从所述第2周边部的一个端部向另一个端部阶段性或者逐渐地变化。

8.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第1加载部的刚性，其设置于所述第1周边部的中央部侧的加载部的刚性这一方比设置于所述第1周边部的端部侧的加载部的刚性低。

9.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第2加载部的刚性，其设置于所述第2周边部的中央部侧的加载部的刚性这一方比设置于所述第2周边部的端部侧的加载部的刚性低。

10.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第1加载部的各个与所述多个第2加载部的各个，设置于相互相对的位置。

11.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

位于相互相对的位置的所述第1加载部的刚性与所述第2加载部的刚性大致相同。

12.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述膜体部还具有孔部；

所述孔部的长轴方向与所述膜体部的长轴方向大致正交。

13.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

设置于所述第1周边部的附近的所述孔部的一端，在所述第1周边部处开口。

14.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

设置于所述第2周边部的附近的所述孔部的一端，在所述第2周边部处开口。

15.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第1加载部和所述多个第2加载部，由与所述导电性的膜体部相同的材料形成。

16.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第1加载部之中刚性最低的加载部和所述多个第2加载部之中刚性最低的加载部，由与所述导电性的膜体部相同的材料形成。

17.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于：

所述多个第1加载部和所述多个第2加载部，由对于蠕变变形的耐性比铝高的材料形成。

18.如权利要求1所述的静电致动器，其特征在于，具备：

以向与所述第1加载部的长轴方向正交的方向突出的方式形成的第1缓冲部；以及

以向与所述第2加载部的长轴方向正交的方向突出的方式形成的第2缓冲部。