[发明专利]探针卡无效
申请号: | 201010575210.5 | 申请日: | 2010-12-06 |
公开(公告)号: | CN102081111A | 公开(公告)日: | 2011-06-01 |
发明(设计)人: | 张杰;祁建华;季海英;张志勇;叶守银;王锦;叶建明;凌俭波;方华;汪瑞祺;刘远华 | 申请(专利权)人: | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探针 | ||
1.一种探针卡,作为测试机台与待测芯片的测试接口,其特征在于,包括母电路板、子电路板、多根探针和探针座;
所述子电路板设有孔,所述探针座设置在该孔内;
所述多根探针固定在所述探针座上;
所述母电路板用于连接测试机台,其上设有测试机台引脚和子板引脚,一个所述子板引脚电连接一个所述测试机台引脚;
所述子电路板上设有探针引脚和母板引脚,一个所述探针引脚电连接一个所述母板引脚;
所述多根探针分别通过环氧针与所述探针引脚连接;
一个所述母板引脚活动电连接一个所述子板引脚。
2.如权利要求1所述的探针卡,其特征在于,所述母板引脚通过弹簧针与所述子板引脚活动连接。
3.如权利要求1所述的探针卡,其特征在于,所述母电路板与测试机台的连接距离短,所述子电路板与测试机台的连接距离长。
4.如权利要求1所述的探针卡,其特征在于,所述子电路板通过固定件安装在所述母电路板的下方。
5.如权利要求4所述的探针卡,其特征在于,所述固定件包括螺母和螺钉,所述螺母设置在所述母电路板的底端,所述子电路板上设有安装孔,所述螺钉穿过所述安装孔拧紧在所述螺母内,将所述子电路板安装在所述母电路板的下方。
6.如权利要求1、2或3所述的探针卡,其特征在于,所述探针引脚均匀或者对称地排布在所述子电路板的孔的圆周外,所述母板引脚均匀或者对称地排布在所述探针引脚形成的圆周外。
7.如权利要求1、2或3所述的探针卡,其特征在于,所述母电路板的中央设有一圆孔,所述子板引脚均匀或者对称地排布在所述圆孔的圆周外,所述测试机台引脚均匀或者对称地排布在所述母电路板的边缘。
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