[发明专利]探针卡

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路测试领域，尤其涉及一种探针卡。

背景技术

探针卡是一种测试接口，用于连接测试机台和待测芯片。

参见图1，现有技术中的一种圆形探针卡，其包括圆形电路板110、探针120和环状探针座130，所述圆形电路板110的中央设有圆孔，所述环状探针座130设置在该圆孔内，所述探针120通过绝缘树脂140固定于所述探针座130上，该探针120与待测芯片300的焊盘(pad)电连接；所述圆形电路板110上设有探针引脚111和测试机台引脚112(图1中探针引脚和测试机台引脚的数量只是一种示意)，所述探针引脚111的数量与所述测试机台引脚112的数量相等，一个所述探针引脚111电连接一个所述测试机台引脚112；所述探针120通过环氧针150与所述探针引脚111连接；测试时，通过弹簧针连接所述测试机台引脚112与测试架台，测试信号从测试机台输出，经所述弹簧针、测试机台引脚112、探针引脚111、环氧针150和探针120，最后输入待测芯片。

待测芯片类型不同，探针定义就不同，探针与探针引脚之间的连接方式也不同，因此，测试不同类型的待测芯片需要不同的探针卡。

圆形探针卡的优点是探针卡与测试机台的连接距离短，从而测试结果精准，但是圆形探针卡的价格高，不同的待测芯片又需要不同的探针卡，因此，测试成本较高。

参见图2，现有技术的一种矩形探针卡，其包括矩形电路板210、探针220和环状探针座230，所述矩形电路板210的中央设有圆孔，所述环状探针座230设置在该圆孔内，所述探针220通过绝缘树脂240固定于所述探针座230上，该探针220与待测芯片300的焊盘(pad)电连接；所述矩形电路板210上设有探针引脚211和测试机台引脚212(图2中探针引脚和测试机台引脚的数量只是一种示意)，所述探针引脚211的数量与所述测试机台引脚212的数量相等，一个所述探针引脚211电连接一个所述测试机台引脚212；所述探针220通过环氧针250与所述探针引脚211连接；测试时，通过排线连接所述测试机台引脚212与测试架台，测试信号从测试机台输出，经所述排线、测试机台引脚212、探针引脚211、环氧针250和探针220，最后输入待测芯片。

同样地，待测芯片类型不同，探针与探针引脚之间的连接方式不同，即测试不同类型的待测芯片需要不同的探针卡。

相对于圆形探针卡，矩形探针卡的面积小，可容纳的引脚数少，因此，价格比较低，但是，矩形探针卡与测试机台的连接距离长，测量精准度低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种探针卡，测量精准度高、测试成本低。

为了达到上述的目的，本发明提供一种探针卡，作为测试机台与待测芯片的测试接口，包括母电路板、子电路板、多根探针和探针座；所述子电路板设有孔，所述探针座设置在该孔内；所述多根探针固定在所述探针座上；所述母电路板用于连接测试机台，其上设有测试机台引脚和子板引脚，一个所述子板引脚电连接一个所述测试机台引脚；所述子电路板上设有探针引脚和母板引脚，一个所述探针引脚电连接一个所述母板引脚；所述多根探针分别通过环氧针与所述探针引脚连接；一个所述母板引脚活动电连接一个所述子板引脚。

上述探针卡，其中，所述母板引脚通过弹簧针与所述子板引脚活动连接。

上述探针卡，其中，所述母电路板与和子电路板通过弹簧针活动连接后测试机台的连接距离短，所述子电路板单独使用与测试机台的连接距离长。

上述探针卡，其中，所述子电路板通过固定件安装在所述母电路板的下方。

上述探针卡，其中，所述固定件包括螺母和螺钉，所述螺母设置在所述母电路板的底端，所述子电路板上设有安装孔，所述螺钉穿过所述安装孔拧紧在所述螺母内，将所述子电路板安装在所述母电路板的下方。

上述探针卡，其中，所述探针引脚均匀或者对称地排布在所述子电路板的孔的圆周外，所述母板引脚均匀或者对称地排布在所述探针引脚形成的圆周外。

上述探针卡，其中，所述母电路板的中央设有一圆孔，所述子板引脚均匀或者对称地排布在所述圆孔的圆周外，所述测试机台引脚均匀或者对称地排布在所述母电路板的边缘。

本发明的探针卡使用子电路板连接探针，母电路板连接测试机台，子电路板与母电路板活动连接，测试不同类型的芯片时，更换子电路板即可，测量精准度高且测试成本低。

附图说明

本发明的探针卡由以下的实施例及附图给出。

图1是现有技术中圆形探针卡的结构示意图。

图2是现有技术中矩形探针卡的结构示意图。