[发明专利]工艺数据的获取方法和装置、设备控制系统有效

专利信息
申请号: 201010583993.1 申请日: 2010-12-10
公开(公告)号: CN102540983A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 陈玉静;李娟娟;杨洋 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 苏培华
地址: 100015 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 工艺 数据 获取 方法 装置 设备 控制系统
【权利要求书】:

1.一种工艺数据的获取方法,其特征在于,包括:

上位机基于订阅机制,获取下位机的数据对象所对应的工艺数据;

数据处理模块使用主动读取机制,获取下位机的数据对象所对应的工艺数据。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述数据处理模块使用主动读取机制,获取下位机的数据对象所对应的工艺数据的步骤,包括:

所述数据处理模块按照预设时间间隔,通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据,其中,所述当前工艺数据为下位机通过采集当前工艺过程所获得的工艺数据,所述Remote接口封装有针对下位机的数据对象的操作。

3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述数据处理模块按照预设时间间隔,通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据的步骤,包括:

按照所述预设时间间隔,通过调用下位机提供的Remote接口,连续自动获取当前工艺数据。

4.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述数据处理模块按照预设时间间隔,通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据的步骤,包括:

按照所述预设时间间隔,通过调用下位机提供的Remote接口,手动获取当前工艺数据。

5.如权利要求2至4任一所述的方法,其特征在于,所述数据处理模块按照预设时间间隔,通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据的步骤,包括:

按照所述预设时间间隔,调用所述Remote接口的GetValue()方法读取与当前工艺数据。

6.如权利要求2或4任一所述的方法,其特征在于,所述预设时间间隔不超过200ms。

7.一种工艺数据的获取装置,包括上位机、下位机和数据处理模块,其特征在于,

所述上位机基于订阅机制,获取下位机的数据对象所对应的工艺数据;

所述数据处理模块使用主动读取机制,获取下位机的数据对象所对应的工艺数据。

8.如权利要求7所述的装置,其特征在于,所述数据处理模块包括:

获取子模块,用于按照预设时间间隔,通过调用下位机提供的Remote接口获取当前工艺数据,其中,所述当前工艺数据为下位机通过采集当前工艺过程所获得的工艺数据,所述Remote接口封装有针对下位机的数据对象的操作。

9.如权利要求8所述的装置,其特征在于,所述获取子模块包括:

自动获取单元,用于在工艺过程中,按照所述预设时间间隔,通过调用下位机提供的Remote接口,连续自动获取当前工艺数据。

10.如权利要求8所述的装置,其特征在于,所述获取子模块包括:

手动获取单元,用于按照所述预设时间间隔,通过调用下位机提供的Remote接口,手动获取当前工艺数据。

11.如权利要求8-10任一所述的装置,其特征在于,所述获取子模块,具体用于按照所述预设时间间隔,调用所述Remote接口的GetValue()方法读取当前工艺数据。

12.如权利要求8-10任一所述的装置,其特征在于,所述预设时间间隔不超过200ms。

13.一种设备控制系统,其特征在于,包括权利要求7至12中任一项所述的工艺数据的获取装置。

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