[发明专利]工艺数据的获取方法和装置、设备控制系统

说明书

技术领域

本发明涉及生产线设备控制的技术领域，特别是涉及一种工艺数据的获取方法和装置、一种设备控制系统。

背景技术

随着单个工艺技术的发展，以及工艺过程的日趋复杂、系统化程度的逐渐提高，工艺过程自动化控制技术也应用得更加广泛。

例如，为了全程监控半导体加工工艺过程中的各项数据，分析出现硬件故障或不合格产品的原因，已有方法提出了数据获取功能，这里的数据获取主要是指获取工艺过程中的数据，即随着时间的递增记录下工艺过程中的各个参数值，如压力、温度、射频电压等。操作人员通过分析获取到的数据，就可以监控生产线设备的状况，发现工艺过程中出现的问题，对工艺过程或者设备进行准确控制或预警，以及，寻找工艺改进的方向，提高工艺的结果等。

参照图1，示出了已有方法一种具有数据获取功能的设备控制系统，其主要包括工厂接口101、上位机102，下位机103和数据处理模块处理模块104；各模块之间相互通讯协作，最终能够实现工厂命令的传达、机台的高效控制，从而使机台达到较高的产率。各模块的功能如下：

上位机102的开发是为了实现各类半导体加工设备的自动化控制，使之满足生产线自动化生产的需要；具体而言，其向上通过工厂接口101与工厂主机(FAB HOST)通信，接收和执行工厂下发的生产指令，同时负责将设备的运行时信息反馈给工厂；向下与下位机103连接，通过特有的调度算法来指挥和协调下位机103的工作，使设备达到符合要求的生产效率；其可以提供友好的图形操作界面，供用户实现对设备的控制；

数据处理模块处理模块104主要用于获取工艺数据值，如压力、温度、射频电压等；

下位机103，其与上位机102和数据处理模块104进行直接交互，用于定义Data对象，其中，所述Data对象通过结点号和通道号与硬件设备相对应；由于对Data对象的读写操作可以相当于对硬件设备的读写，因此，除了下位机103本身，上位机102和数据处理模块104也可以对所述Data对象进行读写操作。

在一种已有方法中，上位机102和数据处理模块104均基于IAP(在程序运行中编程，In Application Programming)开发包IO(Input Output，输入输出)模块的订阅机制进行Data对象的读写操作。

订阅机制的原理为：如果客户端希望在某个Data对象的值发生变化时得到通知，则可以继承Subscriber类并实现回调函数void update(UntypedData*data，const ValueInfo&value)，然后调用Data对象的subscribe()方法注册一个订阅者(Subscriber)。这样，当该Data对象的值发生变化时，服务器端会自动回调所有Subscriber对象的update()方法。其中，update(UntypedData*data，const ValueInfo&value)方法中的UntypedData*data代表发生变化的Data对象，ValueInfo代表变化后的新值。由于服务器端通过回调Subscriber对象的update()方法，即能够把Data对象的更新信息发布到客户端，因此可通过update()操作来接收该更新信息。

基于订阅机制进行Data对象的读写操作的实现过程具体可以包括：

步骤1、上位机102和数据处理模块104分别继承Subscriber类，并实现回调函数Update()；

步骤2、上位机102和数据处理模块104分别通过调用下位机103中某个Data对象的subscribe()方法，注册相应的订阅者，这里的注册顺序自定；

步骤3、在Data对象的值发生变化时，下位机103根据步骤2中的注册顺序，分别调用相应订阅者的updata()方法；

步骤4、上位机102和数据处理模块104分别通过相应的update()操作接收更新的信息，并在接收完毕后返回。

一个完整的订阅机制的通信既包括服务器端对订阅者的调用又包括该订阅者的返回，且某一时刻只允许一个通信；这样，在服务器端具有多个订阅者时，必须要等待上一个订阅者的返回之后才能调用下一个订阅者；所以，在上一个订阅者没有返回的时候，下一个订阅者是不能被调用的，此时，不能被调用的下一个订阅者就被默认为通信连接失败。针对订阅者的返回，下位机103为Data对象设定相应的时间约束，具体地，一旦某个订阅者的返回超过该时间约束，就自动认为连接超时，数据传送失败，从而关闭通信链路。