[发明专利]用于蒸发的掩模以及用于制造该掩模的方法和装置

权利要求书

1.一种用于蒸发的掩模，所述掩模包括：

第一分离掩模；

第二分离掩模；

焊接部分，形成在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间，所述第一分离掩模和所述第二分离掩模通过所述焊接部分彼此结合。

2.根据权利要求1所述的掩模，其中，所述焊接部分在所述焊接部分与所述第一分离掩模之间的界面周围以及在所述焊接部分与第二分离掩模之间的界面周围具有毛刺，所述毛刺的高度为10μm或更小。

3.根据权利要求1所述的掩模，其中，所述第一分离掩模与所述第二分离掩模之间的间隙为掩模的厚度的10％或更小。

4.一种制造用于蒸发的掩模的方法，所述方法包括：

将第一分离掩模和第二分离掩模设置在工作台的顶表面上；

使用夹具将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模固定到所述工作台；

将压板设置在将被焊接的所述第一分离掩模和所述第二分离掩模的外围区域上；

使用激光焊接部分将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，将第一分离掩模和第二分离掩模设置在工作台的顶表面上的步骤包括：

将主基底设置在所述工作台的所述顶表面上；

将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模与所述主基底对准。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间形成间隙，所述间隙为所述第一分离掩模的厚度的10％或更小。

7.根据权利要求4所述的方法，所述方法还包括：在朝向焊接方向移动的同时，利用第一辊将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上，所述第一辊引导所述激光焊接部分。

8.根据权利要求4所述的方法，其中，在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模之后，在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间形成焊接部分，所述方法还包括：在朝向焊接方向移动的同时，利用第二辊使所述焊接部分的顶表面平坦化，所述第二辊跟随所述激光焊接部分。

9.根据权利要求4所述的方法，其中，从所述激光焊接部分产生的激光的束轮廓具有多个最大峰。

10.一种用于制造用于蒸发的掩模的装置，所述装置包括：

工作台；

夹具，设置在所述工作台上，所述夹具将第一分离掩模和第二分离掩模固定到所述工作台的顶表面；

压板，设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模的外围区域上，所述压板将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上；

激光焊接部分，设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模上方，所述激光焊接部分将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模。

11.根据权利要求10所述的装置，所述装置还包括：主基底，设置在所述工作台与所述第一分离掩模及所述第二分离掩模之间。

12.根据权利要求10所述的装置，其中，从所述激光焊接部分产生的激光束轮廓具有多个最大峰。

13.根据权利要求12所述的装置，其中，没有一个最大峰处于所述激光束轮廓的中心周围。

14.根据权利要求10所述的装置，所述装置还包括定位在所述激光焊接部分的前面的第一辊和定位在所述激光焊接部分的后面的第二辊，所述第一辊和所述第二辊设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模上。

15.根据权利要求14所述的装置，所述装置还包括支撑件，所述激光焊接部分以及所述第一辊和所述第二辊安装在所述支撑件中。

16.根据权利要求15所述的装置，其中，在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模的同时，所述支撑件沿焊接方向移动，所述第一辊引导所述激光焊接部分，并将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上，在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模期间，所述第二辊跟随所述激光焊接部分，并将形成在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间的焊接部分的表面平坦化。