[发明专利]用于蒸发的掩模以及用于制造该掩模的方法和装置

说明书

技术领域

本发明的方面涉及一种包括第一分离掩模和第二分离掩模的用于蒸发的掩模以及一种用于制造该掩模的方法和装置。

背景技术

通常，有机发光二极管(OLED)包括设置在第一电极(即，阳极)和第二电极(即，阴极)之间的有机层。第一电极是由例如氧化铟锡(ITO)形成的透明电极，第二电极由具有低逸出功的金属(例如，Ca、Li或Al)形成。当向OLED施加正向电压时，从阳极发射的空穴与从阴极发射的电子组合，以形成激子，在激子从激发态跃迁至基态的同时，发射光。

第二电极通常形成为反射光的反射电极，而第一电极通常形成为透射光的透射电极。因此，可以制造出将从有机层发射的光发射到第二电极的OLED。

这里，有机层可以通过各种方法来形成。方法之一是蒸发方法。为了通过蒸发方法制造OLED显示装置，将具有与要形成的薄膜相同的图案的掩模附着到其上将形成有薄膜的表面，将用于薄膜的材料蒸发，以形成具有预定图案的薄膜。

同时，随着平板显示器变得更大，这样的掩模也变得更大。例如，在掩模的当前制造中，不能制造出与5.5G基底(1320mm×1500mm)的尺寸对应的掩模，因此，应当使用分离掩模。

通常，这样的分离掩模如下形成：将掩模框架四等分成格子类型的子框架；并通过焊接来结合被设置为与分离的开口对应的掩模。

然而，将掩模框架等分为子框架并通过焊接将掩模结合到分离的开口的方法由于子框架而导致阴影效应。因此，难以执行均匀的蒸发。

发明内容

本发明的各方面提供了一种用于蒸发的掩模，该掩模不会由于子框架而具有阴影效应，从而可以制造更大的掩模。

根据本发明的一方面，一种用于蒸发的掩模包括第一分离掩模、第二分离掩模以及形成在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间的焊接部分。所述第一分离掩模和所述第二分离掩模通过所述焊接部分彼此结合。

所述焊接部分可以在所述焊接部分与所述第一分离掩模之间的界面周围以及在所述焊接部分与第二分离掩模之间的界面周围具有毛刺。所述毛刺的高度可以为大约10μm或更小。

所述第一分离掩模与所述第二分离掩模之间的间隙可以为掩模的厚度的大约10％或更小。

根据本发明的另一方面，一种制造用于蒸发的掩模的方法包括：将第一分离掩模和第二分离掩模设置在工作台的顶表面上；使用夹具将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模固定到所述工作台；将压板设置在将被焊接的所述第一分离掩模和所述第二分离掩模的外围区域上；使用激光焊接部分将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模。

设置第一分离掩模和第二分离掩模的步骤可以包括：将主基底设置在所述工作台的所述顶表面上；将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模与所述主基底对准。

可以在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间形成间隙，所述间隙可以为所述第一分离掩模的厚度的大约10％或更小。

所述方法还可以包括：在朝向焊接方向移动的同时，利用第一辊将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上。所述第一辊可以引导所述激光焊接部分。

在将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模之后，可以在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模之间形成焊接部分。所述方法还可以包括：在朝向焊接方向移动的同时，利用第二辊使所述焊接部分的顶表面平坦化。所述第二辊可以跟随所述激光焊接部分。

从所述激光焊接部分产生的激光束轮廓可以具有多个最大峰。

根据本发明的又一方面，一种用于制造用于蒸发的掩模的装置包括：工作台；夹具，设置在所述工作台上；压板，设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模的外围区域上；激光焊接部分，设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模上方。所述夹具将第一分离掩模和第二分离掩模固定到所述工作台的顶表面。所述压板将所述第一分离掩模和所述第二分离掩模压到所述工作台上。所述激光焊接部分将所述第一分离掩模焊接到所述第二分离掩模。

所述装置还可以包括设置在所述工作台与所述第一分离掩模及所述第二分离掩模之间的主基底。

从所述激光焊接部分产生的激光束轮廓可以具有多个最大峰。没有一个最大峰会处于所述激光束轮廓的中心周围。

所述装置还可以包括定位在所述激光焊接部分的前面的第一辊和定位在所述激光焊接部分的后面的第二辊。所述第一辊和所述第二辊设置在所述第一分离掩模和所述第二分离掩模上。