[发明专利]CMOS集成光接收器带宽扩展技术无效
申请号: | 201010590919.2 | 申请日: | 2010-12-15 |
公开(公告)号: | CN102544030A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 蔡毅军 | 申请(专利权)人: | 无锡凌瑞微电子有限公司 |
主分类号: | H01L27/144 | 分类号: | H01L27/144;H04B10/06 |
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地址: | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | cmos 集成 接收器 带宽 扩展 技术 | ||
技术领域
本发明涉及一种用于CMOS集成光接收器带宽扩展技术,属于大规模集成电路设计技术领域。
背景技术
光接收器是光通讯中将接收到的光信号转换为电信号的装置。一般由光电探测器PD和跨阻放大器所组成,见图1。光电探测器可由光电二极管接反向偏压实现。光电二极管通常基于GaAs和InGaAs等化合物半导体,这类光电二极管对红外波长(850nm,1310nm和1550nm)有优异的响应,广泛用于电信网络。基于Si半导体的光电二极管可用于可见光(400nm-700nm)波段,适用于塑料光纤(POF)和无线可见光通讯(VLC)。其优点是成本低,并可以在普通CMOS工艺上实现,从而与跨阻放大器(TIA)集成为一颗芯片。CMOS集成光接收器把光电二极管PD和跨阻放大器TIA集成在同一CMOS芯片衬底上。省去了芯片之间的绑线(Bonding Wire)和封装,从而降低了成本,并提高了可靠性。见图2。但集成的光电二极管PD由于CMOS衬底中的参杂,使其寄生电容增加,带宽减小,限制了其应用。
发明内容
为了克服现有CMOS光电二极管的缺点,本发明提出了一种带宽扩展技术。如图3所示,即利用在PD和TIA输入中加入适当片上电感,来抵消了寄生电容的影响,使得集成光接收器的带宽得以增强。加入的电感有效利用了PD周边的面积,对芯片总面积的影响可降为最低。
本发明的具体技术方案如图4所示。图4上半部显示了芯片的鸟瞰图,下半部为抛面图。
光电二极管的PN结由扩散层n+和p-sub衬底构成。N well可置于n+和p-sub之间,增加对长波长的吸收。片上电感采用顶层金属平面结构,对于GHz带宽应用,片上电感值约5-10nH,其大小符合光电二极管的采光空间。因此可以环绕光电二极管PD的采光空间,这样可以减少占用的芯片面积。CMOS跨阻放大器TIA采用NMOS和PMOS及片上电阻组合而成,部分电感同时可作为PD和TIA之间的联线。
最后,以上结构的仿真模型可用SPICE建立。通过访真,可以得到所需电感的精确值。图5是仿真结果。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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