[发明专利]用于复合镀电沉积的电镀装置

权利要求书

1.一种用于复合镀电沉积的电镀装置，其特征在于：所述装置包括镀槽(1)、底座(2)、框支架(3)、镀槽固定圈(4)、两个转轴(5)、第一调整方圈(6-1)、第一挂钩(7-1)、第一镀槽调整杆(8-1)、第二调整方圈(6-2)、第二挂钩(7-2)、第二镀槽调整杆(8-2)、第三调整方圈(6-3)、第三挂钩(7-3)、第三镀槽调整杆(8-3)、第四调整方圈(6-4)、第四挂钩(7-4)、第四镀槽调整杆(8-4)、第五调整方圈(6-5)、第五挂钩(7-5)、第五镀槽调整杆(8-5)、第六调整方圈(6-6)、第六挂钩(7-6)、第六镀槽调整杆(8-6)、第七调整方圈(6-7)、第七挂钩(7-7)、第七镀槽调整杆(8-7)、第八调整方圈(6-8)、第八挂钩(7-8)、第八镀槽调整杆(8-8)、通气管(9)、第一胶管(10)、气量计(11)、第二胶管(12)、气泵(13)和两个固定板(14)，框支架(3)固装在底座(2)上端面的一端，底座(2)的上端面上由框支架(3)向底座(2)的另一端之间的中心线上依次设有数个调整孔(2-1)，且框支架(3)沿底座(2)的宽度方向设置，镀槽固定圈(4)套装在镀槽(1)的外侧壁上，镀槽(1)的底端外形为半球形，镀槽(1)的中部横截面为矩形，镀槽(1)的上端面为斜面(1-1)，镀槽(1)和镀槽固定圈(4)的组件设置在框支架(3)中，且斜面(1-1)的高点一侧朝向调整孔(2-1)，镀槽固定圈(4)与框支架(3)对应处通过一个转轴(5)与框支架(3)连接，镀槽(1)的下部设有进气孔(1-2)，通气管(9)的输出端穿过进气孔(1-2)设置在镀槽(1)内，通气管(9)输入端通过第一胶管(10)与气量计(11)连接，气量计(11)通过第二胶管(12)与气泵(13)连接，两个固定板(14)设置在镀槽(1)内且靠近斜面(1-1)的低点一侧，两个固定板(14)以底座(2)长度方向的中心线为基准对称设置在镀槽(1)两侧的内壁上，第一镀槽调整杆(8-1)、第二镀槽调整杆(8-2)、第三镀槽调整杆(8-3)、第四镀槽调整杆(8-4)、第五镀槽调整杆(8-5)、第六镀槽调整杆(8-6)、第七镀槽调整杆(8-7)和第八镀槽调整杆(8-8)由镀槽(1)至底座(2)的后部依次设置在调整孔(2-1)中，且第一镀槽调整杆(8-1)、第二镀槽调整杆(8-2)、第三镀槽调整杆(8-3)、第一镀槽调整杆(8-4)、第五镀槽调整杆(8-5)、第六镀槽调整杆(8-6)、第七镀槽调整杆(8-7)和第八镀槽调整杆(8-8)的高度逐渐减小，第一挂钩(7-1)固接在第一镀槽调整杆(8-1)的顶端，第一调整方圈(6-1)与第一挂钩(7-1)连接，第二挂钩(7-2)固接在第二镀槽调整杆(8-2)的顶端，第二调整方圈(6-2)与第二挂钩(7-2)连接，第三挂钩(7-3)固接在第三镀槽调整杆(8-3)的顶端，第三调整方圈(6-3)与第三挂钩(7-3)连接，第四挂钩(7-4)固接在第四镀槽调整杆(8-4)的顶端，第四调整方圈(6-4)与第四挂钩(7-4)连接，第五挂钩(7-5)固接在第五镀槽调整杆(8-5)的顶端，第五调整方圈(6-5)与第五挂钩(7-5)连接，第六挂钩(7-6)固接在第六镀槽调整杆(8-6)的顶端，第六调整方圈(6-6)与第六挂钩(7-6)连接，第七挂钩(7-7)固接在第七镀槽调整杆(8-7)的顶端，第七调整方圈(6-7)与第七挂钩(7-7)连接，第八挂钩(7-8)固接在第八镀槽调整杆(8-8)的顶端，第八调整方圈(6-8)与第八挂钩(7-8)连接。

2.根据权利要求1所述用于复合镀电沉积的电镀装置，其特征在于：所述装置包括出气管(15)，出气管(15)上设有多个出气孔，出气管(15)与通气管(9)输出端连接。

3.根据权利要求2所述用于复合镀电沉积的电镀装置，其特征在于：所述出气管(15)为直筒形或Y形。