[发明专利]一种自由曲面超精密车削的两自由度动态误差抵消装置

权利要求书

1.一种自由曲面超精密车削的两自由度动态误差抵消装置，其特征在于：左侧板、右侧板和前盖板分别与基座、上盖板固定连接，两自由度柔性铰链机构通过螺栓与基座定位固定连接，金刚石刀具与两自由度柔性铰链机构固定连接，X向压电执行器通过X向U型块分别与两自由度柔性铰链机构中的左立柱、右立柱上的Ｕ型槽、用Ｘ向预紧螺钉固定连接；Z向压电执行器一、Z向压电执行器二分别通过Z向U型块一、Z向U型块二、与两自由度柔性铰链机构中X向运动平台后部的两个U型槽、用Z向预紧螺钉一、Z向预紧螺钉二固定连接，传感器支架与两自由度柔性铰链机构后部左侧或右侧固定连接，X向电容位移传感器与传感器支架上的圆孔固定连接，其测头正对X向运动平台， Z向电容位移传感器与柔性铰链机构中X向运动平台后部的圆孔固定连接，其测头正对Z向运动平台。

2.根据权利要求1所述的一种自由曲面超精密车削的两自由度动态误差抵消装置，其特征在于两自由度柔性铰链机构是一个 “H型”整体结构，分为左、中、右三部分，其中左侧部分的左立柱分别通过柔性铰链上连接、柔性铰链下连接和X向左导向动臂铰接；右侧部分的右立柱分别通过柔性铰链上连接、柔性铰链下连接和X向右导向动臂铰接；中间部分是X向运动平台，其左端分别通过左上柔性铰链、左下柔性铰链与与X向左导向动臂铰接，其右端分别通过右上柔性铰链、右下柔性铰链与X向右导向动臂铰接；该X向运动平台上有通过线切割在直接加工而成的Z向运动机构。

3.根据权利要求2所述的一种自由曲面超精密车削的两自由度动态误差补偿装置，其特征在于：X向运动平台上的Z向运动机构是由Z向运动平台通过柔性铰链一、柔性铰链二、柔性铰链三、柔性铰链四与其两侧和导向动臂铰接、并通过柔性铰链五、柔性铰链六、柔性铰链七、柔性铰链八与其后部一组杠杆放大机构铰接；该组杠杆放大机构的支点分别为可以产生微转动的柔性铰链九、柔性铰链十，杠杆放大机构的输入端分别通过柔性铰链十一、柔性铰链十二与杠杆放大机构铰接。